[实用新型]一种便于操作的离子溅射仪有效

专利信息
申请号: 202223290648.6 申请日: 2022-12-08
公开(公告)号: CN219430103U 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 郑启伟;王霞 申请(专利权)人: 武汉纽泰斯生物科技有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/50
代理公司: 郑州铭科知识产权代理事务所(普通合伙) 41209 代理人: 李欣瞻
地址: 430014 湖北省武汉*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 便于 操作 离子 溅射
【权利要求书】:

1.一种便于操作的离子溅射仪,包括说明书存放槽(1)、样品架底座(2)和离子溅射仪主体(3),其特征在于:所述离子溅射仪主体(3)的内壁安装有说明书存放槽(1),所述离子溅射仪主体(3)顶部的尾端安装有样品架底座(2);

所述说明书存放槽(1)的内壁安装有转动辊(101),所述转动辊(101)的内壁安装有发条弹簧(102),所述转动辊(101)的外壁安装有使用说明书(103);

所述使用说明书(103)的另一端安装有连接杆(104),所述连接杆(104)的顶部安装有把手(105)。

2.根据权利要求1所述的一种便于操作的离子溅射仪,其特征在于:所述样品架底座(2)的内壁开设有若干个安装槽(201),安装槽(201)的内壁安装有压力弹簧(202),压力弹簧(202)的一端安装有夹持块(203),且夹持块(203)外壁的一端安装于安装槽(201)的内壁,夹持块(203)的夹持面安装有摩擦软垫(204)。

3.根据权利要求1所述的一种便于操作的离子溅射仪,其特征在于:所述离子溅射仪主体(3)的顶部的前端安装有放置板(301),离子溅射仪主体(3)的顶部设置有屏幕显示器组件(302),离子溅射仪主体(3)顶部的中部安装有直角限制块(303),且直角限制块(303)外壁安装于把手(105)的内壁。

4.根据权利要求1所述的一种便于操作的离子溅射仪,其特征在于:所述使用说明书(103)的外壁安装有一组引导杆(401),且引导杆(401)的底部安装于离子溅射仪主体(3)的顶部。

5.根据权利要求1所述的一种便于操作的离子溅射仪,其特征在于:所述样品架底座(2)的顶部安装有密封套(501),密封套(501)的内壁安装有电机(502),电机(502)的输出端安装有传动杆(503),且传动杆(503)的外壁贯穿安装于密封套(501)的顶部,传动杆(503)的另一端安装有样品台(504)。

6.根据权利要求2所述的一种便于操作的离子溅射仪,其特征在于:所述摩擦软垫(204)的内壁安装有玻璃保护罩(601),玻璃保护罩(601)的顶部安装有固定板(602),固定板(602)的底部安装有溅射喷头(603),固定板(602)的顶部安装有连接管(604),连接管(604)的一端安装有管道(605)。

7.根据权利要求1所述的一种便于操作的离子溅射仪,其特征在于:所述离子溅射仪主体(3)一侧的前端设置有开关按钮(701),离子溅射仪主体(3)一侧的尾端设置有散热口(702),离子溅射仪主体(3)的底部安装有防滑桌腿(703)。

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