[实用新型]一种探针压力检测用的定位装置

说明书

本实用新型涉及探针压力检测用的定位装置，其包括插座的定位座和升降调节单元，升降调节单元包括升降部件和调节部件，其中升降部件包括至少两个升降件，且至少两个升降件自顶部齐平并形成水平升降面，定位座设置在升降面上；调节部件包括联动件和操作件，其中联动件连接在至少两个升降件之间，操作件驱动联动件并带动至少两个升降件同步升降运动。本实用新型通过联动件和操作件的配合，使得至少两个的升降件实现同步升降运动，这样一来，有效提高定位座升降调节后的位置精度，消除偏差，确保检测结果的精确度。

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种探针压力检测用的定位装置。

背景技术

众所周知，在半导体测试工艺中，插座是一个关键部件，极大的影响着测试工艺的精确性和测试的准确性，其中在插座中，探针是主要零部件，因此需要对探针的性能进行必要的检测。

目前，现有的针对探针性能的检测，一般首先将插座定位在定位座上，然后通过具有压力测试部件或/和阻值测试部件的机械手对定位在定位装置上的插座实施检测。

但是，涉及到更换不同厚度的插座时，通常采用升降结构来对应调整定位座的高度，现有的升降结构在定位座的底部一般具有至少两个驱动点，然而，在实际使用过程中，现有的升降机构在进行升降调节时，难以确保所有驱动点保持同步，导致定位座调节后的位置精度差，影响检测结果的精确度。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种改进的探针压力检测用的定位装置。

为解决以上技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种探针压力检测用的定位装置，其包括插座的定位座和升降调节单元，升降调节单元包括升降部件和调节部件，其中升降部件包括至少两个升降件，且至少两个升降件自顶部齐平并形成水平升降面，定位座设置在升降面上；调节部件包括联动件和操作件，其中联动件连接在至少两个升降件之间，操作件驱动联动件并带动至少两个升降件同步升降运动。

优选地，升降部件还包括固定座、上下活动设置在固定座上方的活动座，升降件有两个且并排间隔连接在固定座与活动座之间，定位座固定安装在活动座上。

具体的，固定座自顶面形成有向上延伸的下延伸部，活动座自底面形成有向下延伸的上延伸部，每个升降件分别对应连接在下延伸部和上延伸部上。这样设置，升降件能够隐藏于固定座与活动座之间，减小设备的体积，且外观简洁。

优选地，每个升降件包括共轴枢轴连接在下延伸部上的第一连杆和第二连杆、共轴枢轴连接在上延伸部上的第三连杆和第四连杆，其中第一连杆和第三连杆的端部通过第一枢轴连接，第二连杆和第四连杆的端部通过第二枢轴连接，且第一连杆、第二连杆、第三连杆和第四连杆之间围设成平行四边形。这样设置，便于联动的实施。

进一步的，每个升降件中，第一连杆、第二连杆、第三连杆、第四连杆构成一个升降组，其中升降组有两个且对称设置在固定座的相对两侧。这样设置，保证活动座升降过程平稳。

优选地，联动件包括套设在第一枢轴上的第一模块、套设在第二枢轴上的第二模块，两个升降件中，两个第一模块相联动设置，两个第二模块相联动设置，操作件驱动第一模块或/和第二模块运动。

进一步的，联动件还包括固定连接在两个第一模块之间的第一联动杆、固定连接在两个第二模块之间的第二联动杆。这样设置，结构简单，便于安装和实施。

优选地，位于两个第一模块之间的第二模块套设在第一联动杆上；位于两个第二模块之间的第一模块套设在第二联动杆上。这样设置，在升降过程中，两根联动杆能够对两个模块的运动起到导向作用。

优选地，操作件包括轮盘、连接在轮盘上的丝杆轴，其中丝杆轴与第一模块或第二模块相连接，轮盘转动时，丝杆轴绕着自身中心线转动并带动对应的第一模块或第二模块沿着丝杆轴运动，两个升降件同步升降运动。