[实用新型]一种切片机升降接触密封结构

说明书

本实用新型实施例提供了一种切片机升降接触密封结构，属于切片机相关技术领域，作用于切割室，所述密封结构包括：第一防护机构，所述第一防护机构位于所述切割室的上方，且所述第一防护机构相对于所述切割室升降密封；第二防护机构，所述第二防护机构和所述切割室的上端密封且固定连接，所述第二防护机构套接在所述第一防护机构的外侧，且所述第二防护机构和所述第一防护机构之间过盈配合；达到进刀单元组件连接的导轨和滑块不易污染的技术效果。

技术领域

本实用新型涉及切片机相关技术领域，尤其涉及一种切片机升降接触密封结构。

背景技术

切片机的进刀单元组件通过滚珠丝杆和导轨滑块结构实现晶棒的升降运动，由于切割液里含有切削微粉，切割腔室工作环境潮湿、肮脏，因此进刀单元组件的导轨滑块容易被切割液污染，影响晶棒的进刀精度，进而直接影响硅晶片的质量(TTV值、Warp值和Bow值)和良率。

现有技术中，进刀单元组件的导轨滑块若受到污染，直接影响硅晶片质量和良率；同时由于进刀单元组件上下升降时与导轨产生相对运动，增加密封难度。切割液进入进刀单元组件内部也会导致难清理。

所以，现有技术的技术问题在于：进刀单元组件连接的导轨和滑块易污染。

实用新型内容

本申请实施例提供一种切片机升降接触密封结构，解决了现有技术中进刀单元组件连接的导轨和滑块易污染的技术问题；达到进刀单元组件连接的导轨和滑块不易污染的技术效果。

本申请实施例提供一种切片机升降接触密封结构，作用于切割室，所述密封结构包括：第一防护机构，所述第一防护机构位于所述切割室的上方，且所述第一防护机构相对于所述切割室升降密封；第二防护机构，所述第二防护机构和所述切割室的上端密封且固定连接，所述第二防护机构套接在所述第一防护机构的外侧，且所述第二防护机构和所述第一防护机构之间过盈配合。

作为优选，所述第一防护机构包括：升降防护组件，升降防护组件可相对于所述切割室升降；密封条组件，所述密封条组件的两端分别和升降防护组件、切割室连接，所述密封条组件使得所述升降防护组件能够相对于所述切割室升降密封。

作为优选，所述密封条组件有两组，每组密封条组件包括：两个密封条，两个密封条相对升降运动，其中，第一个密封条和所述升降防护组件固定连接，且第二个密封条和所述切割室固定连接。

作为优选，所述密封条上设有凹槽，两个密封条在升降防护组件带动下通过凹槽相对升降密封。

作为优选，所述密封条为迷宫密封，迷宫间隙为0～0.2mm。

作为优选，所述第二防护组件包括：固定框架，所述固定框架和所述切割室的上端密封固定连接；刮板组件，所述刮板组件位于所述固定框架和所述第一防护机构之间，且所述刮板组件和所述固定框架固定连接，所述刮板组件和所述第一防护机构的外侧面过盈配合，对附着在第一防护机构外侧面的切割液进行刮除。

作为优选，所述第二防护组件还包括：密封件，所述密封件位于所述固定框架和所述切割室之间，所述密封件和所述固定框架固定连接，且所述密封件和所述切割室上端密封连接，避免切割液进入到第一防护机构。

作为优选，所述刮板组件包括：第一刮板，所述第一刮板为软性材质制成，且所述第一刮板和所述第一防护机构的外侧面过盈配合，使得对第一防护机构的外侧面的切割液进行刮除；第一安装板，所述第一安装板和所述第一刮板固定连接，且所述第一安装板和所述固定框架固定连接。

作为优选，所述密封件包括：第二刮板，所述第二刮板和所述切割室的上端密封连接，避免切割液进入到第一防护机构中；第二安装板，所述第二安装板和所述第二刮板固定连接，所述第二安装板和所述固定框架固定连接。

作为优选，所述第二刮板由软性材质制成。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：