[实用新型]防干扰保护装置及PVD设备有效

专利信息
申请号: 202222984569.9 申请日: 2022-11-08
公开(公告)号: CN218932290U 公开(公告)日: 2023-04-28
发明(设计)人: 胡德锴;张会周 申请(专利权)人: 粤芯半导体技术股份有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;G01N33/00
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 张子飞
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 干扰 保护装置 pvd 设备
【权利要求书】:

1.一种防干扰保护装置,其特征在于,包括屏蔽罩和地线,所述屏蔽罩用于罩设一气体测量仪器;所述屏蔽罩与所述气体测量仪器之间留有间隙,所述屏蔽罩通过所述地线与一机台壳体连接。

2.根据权利要求1所述的防干扰保护装置,其特征在于,还包括连接件,所述屏蔽罩通过所述连接件与所述气体测量仪器可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述连接件包括至少两个螺栓,至少两个所述螺栓沿所述屏蔽罩的周向间隔设置,且所述螺栓穿过所述屏蔽罩与所述气体测量仪器螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的防干扰保护装置,其特征在于,至少两个所述螺栓沿所述屏蔽罩的中轴线对称设置。

5.根据权利要求1所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述屏蔽罩与所述气体测量仪器之间填充有磁性绝缘层,所述磁性绝缘层为铝材层。

6.根据权利要求1所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述屏蔽罩上开设有供所述气体测量仪器中管路穿过的通孔。

7.根据权利要求1所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述屏蔽罩包括铝制屏蔽罩、铜制屏蔽罩、镁制屏蔽罩和锌制屏蔽罩中的一种。

8.根据权利要求1所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述屏蔽罩呈中空圆柱体设置。

9.根据权利要求8所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述屏蔽罩的直径在50mm~100mm之间,所述屏蔽罩的高度在100mm~300mm之间,所述屏蔽罩的壁厚在1mm~10mm之间。

10.一种PVD设备,其特征在于,包括气体测量仪器以及如权利要求1~9中任一项所述的防干扰保护装置。

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