[实用新型]防干扰保护装置及PVD设备有效
申请号: | 202222984569.9 | 申请日: | 2022-11-08 |
公开(公告)号: | CN218932290U | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 胡德锴;张会周 | 申请(专利权)人: | 粤芯半导体技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;G01N33/00 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 张子飞 |
地址: | 510000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 干扰 保护装置 pvd 设备 | ||
1.一种防干扰保护装置,其特征在于,包括屏蔽罩和地线,所述屏蔽罩用于罩设一气体测量仪器;所述屏蔽罩与所述气体测量仪器之间留有间隙,所述屏蔽罩通过所述地线与一机台壳体连接。
2.根据权利要求1所述的防干扰保护装置,其特征在于,还包括连接件,所述屏蔽罩通过所述连接件与所述气体测量仪器可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述连接件包括至少两个螺栓,至少两个所述螺栓沿所述屏蔽罩的周向间隔设置,且所述螺栓穿过所述屏蔽罩与所述气体测量仪器螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的防干扰保护装置,其特征在于,至少两个所述螺栓沿所述屏蔽罩的中轴线对称设置。
5.根据权利要求1所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述屏蔽罩与所述气体测量仪器之间填充有磁性绝缘层,所述磁性绝缘层为铝材层。
6.根据权利要求1所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述屏蔽罩上开设有供所述气体测量仪器中管路穿过的通孔。
7.根据权利要求1所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述屏蔽罩包括铝制屏蔽罩、铜制屏蔽罩、镁制屏蔽罩和锌制屏蔽罩中的一种。
8.根据权利要求1所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述屏蔽罩呈中空圆柱体设置。
9.根据权利要求8所述的防干扰保护装置,其特征在于,所述屏蔽罩的直径在50mm~100mm之间,所述屏蔽罩的高度在100mm~300mm之间,所述屏蔽罩的壁厚在1mm~10mm之间。
10.一种PVD设备,其特征在于,包括气体测量仪器以及如权利要求1~9中任一项所述的防干扰保护装置。
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