[实用新型]防干扰保护装置及PVD设备

权利要求书

1.一种防干扰保护装置，其特征在于，包括屏蔽罩和地线，所述屏蔽罩用于罩设一气体测量仪器；所述屏蔽罩与所述气体测量仪器之间留有间隙，所述屏蔽罩通过所述地线与一机台壳体连接。

2.根据权利要求1所述的防干扰保护装置，其特征在于，还包括连接件，所述屏蔽罩通过所述连接件与所述气体测量仪器可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的防干扰保护装置，其特征在于，所述连接件包括至少两个螺栓，至少两个所述螺栓沿所述屏蔽罩的周向间隔设置，且所述螺栓穿过所述屏蔽罩与所述气体测量仪器螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的防干扰保护装置，其特征在于，至少两个所述螺栓沿所述屏蔽罩的中轴线对称设置。

5.根据权利要求1所述的防干扰保护装置，其特征在于，所述屏蔽罩与所述气体测量仪器之间填充有磁性绝缘层，所述磁性绝缘层为铝材层。

6.根据权利要求1所述的防干扰保护装置，其特征在于，所述屏蔽罩上开设有供所述气体测量仪器中管路穿过的通孔。

7.根据权利要求1所述的防干扰保护装置，其特征在于，所述屏蔽罩包括铝制屏蔽罩、铜制屏蔽罩、镁制屏蔽罩和锌制屏蔽罩中的一种。

8.根据权利要求1所述的防干扰保护装置，其特征在于，所述屏蔽罩呈中空圆柱体设置。

9.根据权利要求8所述的防干扰保护装置，其特征在于，所述屏蔽罩的直径在50mm～100mm之间，所述屏蔽罩的高度在100mm～300mm之间，所述屏蔽罩的壁厚在1mm～10mm之间。

10.一种PVD设备，其特征在于，包括气体测量仪器以及如权利要求1～9中任一项所述的防干扰保护装置。