[实用新型]一种抗电磁干扰的红外测温用滤光片及其红外探测器

权利要求书

1.一种抗电磁干扰的红外测温用滤光片，其包括：

基底层；以及

滤光层，其分别沉积于所述基底层的上下两侧以形成两个干涉膜系；

其特征在于，所述滤光层采用在5.5μm-14μm波段高透射的透光材料制备而成；

所述滤光片还包括：

电磁屏蔽层，其采用在3μm-16μm波段高透射并能屏蔽对应波段电磁干扰信号的透光导电材料制备而成；所述电磁屏蔽层分别沉积在所述基底层的上下两侧，且每处电磁屏蔽层均按照特定的排布方式与所述基底层以及其中一处所述滤光层进行交叠。

2.根据权利要求1所述的抗电磁干扰的红外测温用滤光片，其特征在于，所述基底层的上下两侧均为抛光处理结构。

3.根据权利要求2所述的抗电磁干扰的红外测温用滤光片，其特征在于，所述基底层选用单晶硅或单晶锗作为衬底，厚度为550±50μm。

4.根据权利要求1所述的抗电磁干扰的红外测温用滤光片，其特征在于，所述电磁屏蔽层和所述滤光层均设置有两处，且对称式分布在所述基底层的上下两侧；位于所述基底层同一侧的一层所述电磁屏蔽层和一层所述滤光层相互对应。

5.根据权利要求4所述的抗电磁干扰的红外测温用滤光片，其特征在于，每处的所述滤光层均由多层高折射率膜层和对应数量的低折射率膜层交替堆叠构成。

6.根据权利要求1所述的抗电磁干扰的红外测温用滤光片，其特征在于，所述电磁屏蔽层沉积在对应的所述滤光层和所述基底层交界处，即所述滤光层通过中置的电磁屏蔽层间接设置在所述基底层上。

7.根据权利要求1所述的抗电磁干扰的红外测温用滤光片，其特征在于，所述电磁屏蔽层沉积在对应的所述滤光层背离基底层的一侧，即所述滤光层直接设置在所述基底层上。

8.根据权利要求1所述的抗电磁干扰的红外测温用滤光片，其特征在于，所述电磁屏蔽层采用厚度为3nm的超薄金属层结构。

9.根据权利要求1所述的抗电磁干扰的红外测温用滤光片，其特征在于，所述电磁屏蔽层采用厚度为50nm的电介质薄膜结构。

10.一种红外探测器，其包括：

滤光片；

其特征在于，所述滤光片采用如权利要求1至9中任意一项所述的抗电磁干扰的红外测温用滤光片。