[实用新型]功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪

权利要求书

1.一种功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪，其特征在于：用于实现功率半导体器件的输入电阻、输入电容、输出电容、反向电容在不同直流偏置电压条件下的多通道扫描测试，包括控制电路、LCR测试电路、栅极偏压电路、漏极偏压电路及多通道隔离开关矩阵电路；

控制电路分别与LCR测试电路、栅极偏压电路、漏极偏压电路、多通道隔离开关矩阵电路相连接，多通道隔离开关矩阵电路分别与LCR测试电路、栅极偏压电路、漏极偏压电路、被测功率件相连接。

2.根据权利要求1所述的功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪，其特征在于：所述LCR测试电路用于在设定的测试电平、测试频率、偏置电压下实现功率半导体器件输入电阻、输入电容、输出电容、反向电容的参数测试。

3.根据权利要求1所述的功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪，其特征在于：所述栅极偏压电路用于提供一组宽范围可调的正负直流电源，施加于功率半导体器件的栅极和源极之间，实现对半导体功率器件的通断控制。

4.根据权利要求1所述的功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪，其特征在于：所述漏极直流电压偏置电路用于提供一组宽范围可调的直流电源，施加于功率半导体器件的漏极和源极之间，作为功率器件的漏极和源极之间的偏置电压。

5.根据权利要求1所述的功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪，其特征在于：所述多通道隔离开关矩阵电路通过继电器矩阵切换，实现对功率半导体器件不同电阻电容参数的电路切换，同时通过继电器矩阵实现多个半导体功率器件的多通道扫描测试。

6.根据权利要求1所述的功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪，其特征在于：所述控制电路实现LCR测试电路参数的设置，栅极偏压电路和漏极偏压电路的控制，多通道隔离开关矩阵电路的通道和参数的切换，并完成功率半导体器件参数的测试。