[实用新型]一种芯片切割清洗液废液收集装置

权利要求书

1.一种芯片切割清洗液废液收集装置，包括水箱主体(1)，所述水箱主体(1)内设有泵室(2)，所述泵室(2)包括泵室门(4)，其特征在于：所述水箱主体(1)内壁设有防腐装置(5)，所述防腐装置(5)包括第一防腐层(51)和第二防腐层(52)，所述防腐装置(5)通过安装组件(6)安装在所述水箱主体(1)内壁上，所述安装组件(6)包括安装在所述第一防腐层(51)上的安装块(61)和开设在所述水箱主体(1)上的安装槽(62)，所述安装块(61)安装在所述安装槽(62)内。

2.根据权利要求1所述的一种芯片切割清洗液废液收集装置，其特征在于，所述第一防腐层(51)为不锈钢材料制成，所述防腐装置(5)的尺寸和所述水箱主体(1)的内壁尺寸一致。

3.根据权利要求2所述的一种芯片切割清洗液废液收集装置，其特征在于，所述第二防腐层(52)为三聚乙烯材料喷涂在所述第一防腐层(51)上形成。

4.根据权利要求1所述的一种芯片切割清洗液废液收集装置，其特征在于，所述安装块(61)包括横向安装块(611)和竖向安装块(612)，所述安装槽(62)包括横向安装槽(621)和竖向安装槽(622)，所述横向安装块(611)和所述横向安装槽(621)的大小一致，所述竖向安装块(612)和所述竖向安装槽(622)的大小一致。

5.根据权利要求4所述的一种芯片切割清洗液废液收集装置，其特征在于，所述安装块(61)的安装端和所述安装槽(62)的安装端均为弧面(63)设置。

6.根据权利要求1所述的一种芯片切割清洗液废液收集装置，其特征在于，所述安装组件(6)还包括位于所述安装槽(62)内的转动辊(64)，所述转动辊(64)转动安装在所述水箱主体(1)上，所述泵室(2)的进水端处设有过滤网(3)。