[实用新型]一种新型PECVD工艺腔体温度控制装置有效
| 申请号： | 202222857536.8 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN218332396U | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 徐家庆;梁玉涛;苏鑫 | 申请（专利权）人： | 大连皓宇电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 沈阳天赢专利代理有限公司 21251 | 代理人： | 尹思雪 |
| 地址： | 116000 辽宁省大连市中国（辽宁）*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 pecvd 工艺 体温 控制 装置 | ||
1.一种新型PECVD工艺腔体温度控制装置，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的底部四角处均安装有底座(4)，所述壳体(1)的内部设置有加热器(13)，所述壳体(1)的外侧设置有控温机构；
控温机构机构包括温度传感器(3)、控制器(5)、环形滑轨(6)、电动导块(7)、连杆(9)和背板(10)；
所述环形滑轨(6)的底部与壳体(1)的内壁底部固定连接，所述环形滑轨(6)的外壁滑动卡接有电动导块(7)，所述电动导块(7)的一侧通过连杆(9)固接有背板(10)，所述环形滑轨(6)的外侧设置有多个温度传感器(3)，多个所述温度传感器(3)的外壁与壳体(1)的多个通孔固定连接，所述环形滑轨(6)的上方设置有控制器(5)，所述控制器(5)的底部与壳体(1)的顶部固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种新型PECVD工艺腔体温度控制装置，其特征在于：所述加热器(13)的一侧通过支架(12)固接有横杆(11)，所述横杆(11)的外壁与背板(10)的上方通孔活动相连，所述横杆(11)的底部凹槽活动相连有方筒(14)，所述方筒(14)的一侧固接有曲杆(19)，所述曲杆(19)的外壁活动相连有竖筒(20)，所述竖筒(20)的一侧与背板(10)的一侧通过螺栓固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种新型PECVD工艺腔体温度控制装置，其特征在于：所述方筒(14)的外壁上方与横杆(11)的底部凹槽形状相契合。
4.根据权利要求2所述的一种新型PECVD工艺腔体温度控制装置，其特征在于：所述方筒(14)的底部通过固接有盖板(15)，所述盖板(15)的内壁滑动卡接有挡板(16)，所述挡板(16)的顶部和方筒(14)的内壁顶部固定连接有弹簧(17)，所述挡板(16)的底部固接有弯杆(18)，所述弯杆(18)的一侧与背板(10)的一侧固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种新型PECVD工艺腔体温度控制装置，其特征在于：所述壳体(1)的一侧固接有风机(8)，所述风机(8)的输入端贯穿壳体(1)的外壁顶部，所述壳体(1)的内壁安装有隔热层(2)，所述壳体(1)的正面安装有门体(21)。
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