[实用新型]磁体系统、溅射设备和壳体盖

权利要求书

1.一种磁体系统(100)，其特征在于，包括：

壳体(406g)，所述壳体具有壳体内部空间(406h)；

磁体载体(102)，所述磁体载体设置在所述壳体内部空间(406h)中并且借助于所述壳体(406g)支承；

壳体盖(406d)，所述壳体盖以与所述壳体(406g)拼接在一起的方式形成流体密封的腔室；

其中所述壳体盖(406d)具有变速器级(804)、发电机(308)和将所述变速器级(804)与所述发电机(308)联接的转动馈通件(850)。

2.根据权利要求1所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述磁体载体借助于所述壳体(406g)以相对于所述壳体位置固定的方式支承。

3.根据权利要求1所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述壳体盖(406d)具有法兰(802p)，所述法兰设置在所述变速器级(804)和所述发电机(308)之间，其中所述转动馈通件(850)穿过所述法兰(802p)将所述变速器级(804)和所述发电机(308)彼此联接。

4.根据权利要求3所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述壳体盖(406d)具有转动支承件，所述变速器级(804)的驱动侧的变速器轮借助于所述转动支承件与所述法兰(802p)联接。

5.根据权利要求4所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述变速器级(804)具有发电机侧的变速器轮，所述发电机侧的变速器轮接触所述驱动侧的变速器轮和/或所述转动馈通件(850)。

6.根据权利要求1所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述壳体盖(406d)具有驱动侧的驱动联接器，所述驱动联接器设计用于：将转矩传递到所述变速器级(804)上，和/或所述驱动联接器由所述变速器级(804)承载。

7.根据权利要求6所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述驱动联接器具有转矩支柱，所述转矩支柱固定在所述变速器级(804)处并且延伸远离所述发电机(308)。

8.根据权利要求1所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述变速器级(804)具有内齿圈作为驱动侧的变速器轮。

9.根据权利要求1所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述壳体盖(406d)具有通信接口，所述通信接口与所述发电机(308)刚性联接，其中所述变速器级(804)设置在所述发电机(308)和所述通信接口之间。

10.根据权利要求9所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述通信接口具有板电极，其中所述壳体盖(406d)具有电接口，所述电接口朝向所述发电机(308)设置并且导电地与所述板电极联接。

11.根据权利要求10所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述电接口朝向所述发电机(308)设置并且欧姆地与所述板电极联接。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的磁体系统(100)，其特征在于，还包括：

致动器(106)，所述致动器借助于所述发电机(308)供电并且具有控制输入端，所述控制输入端与所述壳体盖(406d)导电耦联；和

至少一个磁体，所述磁体借助于所述致动器(106)与所述磁体载体(102)联接并且设置在所述壳体内部空间(406h)中，

其中所述致动器(106)设计用于：响应于借助所述转动馈通件(850)输送给所述控制输入端的电通信信号改变所述磁体相对于所述磁体载体(102)的方位。

13.根据权利要求12所述的磁体系统(100)，其特征在于，所述控制输入端与所述壳体盖(406d)欧姆耦联。