[实用新型]显影装置有效

专利信息
申请号: 202222809719.2 申请日: 2022-10-25
公开(公告)号: CN218782512U 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 练文军 申请(专利权)人: 深圳天华机器设备有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 代理人: 许铨芬
地址: 518000 广东省深圳市坪*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显影 装置
【说明书】:

本申请的实施例提供了一种显影装置,用于对生产板喷淋药水,以实现生产板的图形转移,本实用新型通过压力控制器控制不同喷管内的压力值,使各个喷管内的压力值不相等,沿朝向输送结构的方向上喷管的压力值逐渐减小,以使生产板的下部在喷头喷出药液时,受喷淋的流量较低,但在重力作用下,生产板上部的药液逐步顺着生产板流下,以对生产板的下部进行补充淋浴,从而可以保证生产板较为均匀的喷淋效果,提升产品良率。

技术领域

本实用新型属于显影设备技术领域,尤其涉及一种显影装置。

背景技术

目前,在垂直显影生产过程中,将生产板放入显影喷淋设备进行喷淋时,由于重力作用导致生产板下部被重复喷淋,导致生产板各处的喷淋效果有差异,导致生产板显影效果较差,产品良率低。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种显影装置,旨在解决现有技术中生产板显影效果较差的问题。

为实现上述目的,本申请采用的技术方案是:

提供一种显影装置,包括:

支架结构,设有喷淋腔;

输送结构,设于喷淋腔内并与所述支架结构连接,且用于限位连接生产板以将所述生产板运输至所述喷淋腔内;以及

喷淋结构,包括喷淋架、压力控制器和多个喷管,所述喷淋架与所述输送结构间隔设置于所述喷淋腔内,多个所述喷管间隔设置于所述喷淋架上并且均与所述压力控制器相连接,所述压力控制器用于控制各个所述喷管内的压力值,每个所述喷管均沿预设方向设置,每个所述喷管上设有多个间隔设置的喷头,所述喷头用于将喷管内的药水喷淋至生产板上。

在一实施例中,所述输送结构包括载板部件,所述载板部件包括:

载板框,用于容纳生产板;以及

板夹,固设于载板框上并用于夹持生产板。

在一实施例中,所述板夹包括第一夹持部、弹性连接部、转动连接部以及第二夹持部,所述第一夹持部固定于所述载板框上,所述第一夹持部与所述第二夹持部通过所述转动连接部转动连接,所述弹性连接部设于所述第一夹持部的第一端与所述第二夹持部的第一端之间,所述弹性连接部用于使所述第一夹持部的第二端与所述第二夹持部的第二端抵接。

在一实施例中,所述第一夹持部的第二端与所述第二夹持部的第二端均设有避让槽。

在一实施例中,所述输送结构包括:

第一安装架,设有转轴,所述转轴能在所述第一安装架上自转;

驱动磁力轮,用于在驱动力的作用下自转;

从动磁力轮,套设于所述转轴上,并用于在所述驱动磁力轮的磁力驱动下转动以带动所述转轴转动;以及

摩擦轮,套设于所述转轴上并与所述从动磁力轮间隔设置,所述摩擦轮用于与所述载板框接触以将所述生产板运输至所述喷淋腔内。

在一实施例中,所述输送结构还包括第二安装架和两个限位部件,两个所述限位部件沿铅锤方向相对设置,一个所述限位部件设置于所述第一安装架上,另一个所述限位部件设置于所述第二安装架上。

在一实施例中,所述支架结构上设有摆动部件,所述摆动部件与所述喷淋架传动连接。

在一实施例中,所述摆动部件包括:

第三安装架,设有限位柱;

驱动电机,设置于所述第三安装架上;

转动轮,设有偏离其轴线的偏心孔,所述驱动电机的输出轴与所述偏心孔匹配连接;以及

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