[实用新型]显影装置

权利要求书

1.一种显影装置，其特征在于，包括：

支架结构，设有喷淋腔；

输送结构，设于喷淋腔内并与所述支架结构连接，且用于限位连接生产板以将所述生产板运输至所述喷淋腔内；以及

喷淋结构，包括喷淋架、压力控制器和多个喷管，所述喷淋架与所述输送结构间隔设置于所述喷淋腔内，多个所述喷管间隔设置于所述喷淋架上并且均与所述压力控制器相连接，所述压力控制器用于控制各个所述喷管内的压力值，每个所述喷管均沿预设方向设置，每个所述喷管上设有多个间隔设置的喷头，所述喷头用于将喷管内的药水喷淋至生产板上。

2.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述输送结构包括载板部件，所述载板部件包括：

载板框，用于容纳生产板；以及

板夹，固设于所述载板框上并用于夹持生产板。

3.如权利要求2所述的显影装置，其特征在于：所述板夹包括第一夹持部、弹性连接部、转动连接部以及第二夹持部，所述第一夹持部固定于所述载板框上，所述第一夹持部与所述第二夹持部通过所述转动连接部转动连接，所述弹性连接部设于所述第一夹持部的第一端与所述第二夹持部的第一端之间，所述弹性连接部用于使所述第一夹持部的第二端与所述第二夹持部的第二端抵接。

4.如权利要求3所述的显影装置，其特征在于：所述第一夹持部的第二端与所述第二夹持部的第二端均设有避让槽。

5.如权利要求2所述的显影装置，其特征在于：所述输送结构还包括：

第一安装架，设有转轴，所述转轴能在所述第一安装架上自转；

驱动磁力轮，用于在驱动力的作用下自转；

从动磁力轮，套设于所述转轴上，并用于在所述驱动磁力轮的磁力驱动下转动以带动所述转轴转动；以及

摩擦轮，套设于所述转轴上并与所述从动磁力轮间隔设置，所述摩擦轮用于与所述载板框接触以将所述生产板运输至所述喷淋腔内。

6.如权利要求5所述的显影装置，其特征在于：所述输送结构还包括第二安装架和两个限位部件，两个所述限位部件沿铅锤方向相对设置，一个所述限位部件设置于所述第一安装架上，另一个所述限位部件设置于所述第二安装架上。

7.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述支架结构上设有摆动部件，所述摆动部件与所述喷淋架传动连接。

8.如权利要求7所述的显影装置，其特征在于：所述摆动部件包括：

第三安装架，设有限位柱；

驱动电机，设置于所述第三安装架上；

转动轮，设有偏离其轴线的偏心孔，所述驱动电机的输出轴与所述偏心孔匹配连接；以及

摆动块，包括主体、第一连接部和第二连接部，所述第一连接部与所述第二连接部分别设于所述主体的两侧，所述主体套设于所述限位柱上并能在所述限位柱上滑动，所述第一连接部设于所述转动轮的上方并与所述转动轮的周向侧壁抵接，所述第二连接部与所述喷淋架连接。

9.如权利要求8所述的显影装置，其特征在于：所述转动轮的周向侧壁上设有沿周向分布的限位缺口，所述第一连接部设于所述限位缺口内。

10.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于：压力控制器包括调压阀和压力表，所述调压阀用于调节所述喷管内药液的压力，所述压力表用于测量所述喷管内药液的压力值。

11.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述喷淋结构设置有两个，所述输送结构设于两个所述喷淋结构之间。

12.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述支架结构上设有观察窗口。