[实用新型]一种自动导片上料机构

说明书

本实用新型属于晶圆上下料领域，提供了一种自动导片上料机构，适用于晶圆甩干机的上料，包括：机架，横向排列在机架上、且可纵向位移的多个第一晶圆托篮，在机架上、并与第一晶圆托篮并排的第二晶圆托篮，在第一晶圆托篮和第二晶圆托篮上的抱片机构，在抱片机构正下方、且可上下位移的举片机构，移动连接于机架、用于监测第二晶圆托篮上晶圆的监测机构，以及在机架上位移、用于将第二晶圆托篮送入晶圆甩干机内的气爪机构。本实用新型的自动导片上料机构，通过机械化实现晶圆的上下料，传输稳定，避免了人工搬运，降低人员成本的同时，降低了因人工操作导致晶圆破损、污染的风险。

技术领域

本实用新型涉及晶圆上下料领域，尤其涉及一种自动导片上料机构。

背景技术

目前，在湿法清洗工序中，需要先由工人利用晶圆导片机构，将一个晶圆拖篮内的晶圆片取出放置到另一专用的晶圆托篮内，然后将新的拖篮放置到晶圆清洗机构中；清洗之后，由人工取出，放入导片机构中，换回原来的拖篮里，进行下一道工序。

这会导致以下几个问题，首先需要人工搬，会因为工人操作的失误导致晶圆的破损、污染，造成重大损失；其次，人工进行所有的流程大概需要一个小时，就需要至少一个工人全程跟踪，费时费力。

实用新型内容

本实用新型的一种自动导片上料机构，用于解决背景技术中晶圆在湿法清洗工序中自动化上下料的技术问题。

本实用新型提供的技术方案如下：一种自动导片上料机构，适用于晶圆甩干机的上料，包括：机架，横向排列在机架上、且可纵向位移的多个第一晶圆托篮，在机架上、并与第一晶圆托篮并排的第二晶圆托篮，在第一晶圆托篮和第二晶圆托篮上的抱片机构，在抱片机构正下方、且可上下位移的举片机构，移动连接于机架上、用于监测第二晶圆托篮内晶圆的监测机构，以及在机架上位移、用于将第二晶圆托篮送入晶圆甩干机内的气爪机构；

机架上连接有、用于气爪机构上下位移的第四丝杆机构，第四丝杆机构上连接有、用于气爪机构倾斜上料的抬升机构，连接于抬升机构和气爪机构之间、用于纵向位移的第五丝杆机构。

进一步的，抱片机构通过第一丝杆机构实现横向位移；抱片机构包括：与第一丝杆机构连接的第一抱片支架，连接于第一抱片支架顶部的第二抱片支架，以及连接于第二抱片支架顶部的抱片机构本体。

进一步的，举片机构通过第二丝杆机构连接于第一抱片支架上；举片机构包括：与第二丝杆机构连接的第一举片支架，竖直连接于第一举片支架上的第二举片支架，以及连接于第二举片支架顶部的举片机构本体。

进一步的，第一晶圆托篮通过第三丝杆机构连接于机架上，第一晶圆托篮包括：连接于第三丝杆机构上的第一托篮支架，以及插接在第一托篮支架上的第一托篮本体。

进一步的，第二晶圆托篮包括：连接于机架上的第二托篮支架，以及插接在第二托篮支架上的第二托篮本体。

进一步的，监测机构通过十字滑动机构连接于机架上，监测机构包括：光电传感器，以及竖直连接于十字滑动机构上、用于连接光电传感器的监测支架。

进一步的，抬升机构包括：连接于第五丝杆机构底部前后两侧位置的两组轴接机构，以及与一侧轴接机构连接的、用于上下位移的第六丝杆机构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型的自动导片上料机构，通过机械化实现晶圆的上下料，传输稳定，避免了人工搬运，降低人员成本的同时，降低了因人工操作导致晶圆的破损、污染的风险。

(2)本实用新型的自动导片上料机构，通过设置抱片机构和举片机构的配合，使晶圆在传输换位时更为便捷，且避免了人员的触碰，避免了污染的风险。