[实用新型]一种蒸镀机用粉末状有机材料加料机

说明书

一种蒸镀机用粉末状有机材料加料机，包括：一箱体，所述箱体前侧设有翻折式前盖，所述箱体一侧壁设有通风进气管、另一侧壁设有通风排气管，所述箱体内底部设有一微量称重模块，所述微量称重模块上方设有用于抓取坩埚的气缸式伸缩机械手；所述微量称重模块旁侧设有一用于抓取药粉储存瓶并自动倾倒向坩埚加料的自动加料机构。本实用新型可实现自动加料，大大提高了加料效率，缩短了加料时间。

技术领域

本实用新型属于蒸镀机的技术领域，具体是指一种蒸镀机用粉末状有机材料加料机。

背景技术

有机发光二级管(Organic Light Emitting Diode，OLED)因具有响应速度快、高对比度、可柔性化、低功耗、宽视角、广色域、超轻薄等特点，在高性能的显示区域，作为自主发光的器件发展越来越迅速。

目前OLED器件采用的主流制备方式可分为两种，蒸镀和喷墨打印，蒸镀由于其技术成熟，良率高，至今仍为主要的制备方法。一般蒸镀机根据蒸镀源的分类，可分为点源、线源、面源。其中点源主要用于中小型尺寸的面板，线源和面源用于中型和大型面板的生产。蒸镀法是一种属于物理气相沉积的真空镀膜技术，其原理为将蒸镀的材料置于真空蒸发源装置的坩埚内，通过对坩埚加热，使材料从固态转化为气态的原子、原子团或分子，然后凝聚到待镀膜的基板表面形成薄膜。

在显示面板行业OLED蒸镀制程中，需要用到多种有机材料作为耗材，而有机材料主要呈均匀的粉末状；对于中小型点源式蒸镀机，其坩埚体积较小，为了使坩埚中的材料加热均匀，每次开腔后补充的有机材料量也很少，但是涉及的有机材料种类超过十种；目前这种小坩埚的加料方式，主要为人工手持装有有机材料的储存瓶，向坩埚里倾倒，然后使用微量电子称查看当前重量，通过加减的方式，确认已加入的材料量，一直重复，直到加入的材料量符合本次的预期。这种人工加料的方式存在如下缺点：

1、需要加料的种类较多，每种又只需补充几克的材料，重复性的倾倒和称量，效率极低，耗时较长，影响设备复机时间；

2、倾倒药粉时，药粉或多或少都会撒出至桌面或手上，当添加下一种材料时，有可能造成材料之间的污染，当手去触碰其他物体时，也会将药粉涂抹至其他物体上；

3、由于有机材料为粉末状，倾倒时会部分飘至空中，人工在倾倒时距离材料较近，药粉有可能飘进双眼或被吸入人体，也有可能飘至设备上，对设备产生腐蚀；

4、飘洒在环境中的有机材料无法统一集中处理。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种可自动进行加料的一种蒸镀机用粉末状有机材料加料机。

本实用新型是这样实现的:

一种蒸镀机用粉末状有机材料加料机，包括：一箱体，所述箱体前侧设有翻折式前盖，所述箱体一侧壁设有通风进气管、另一侧壁设有通风排气管，所述箱体内底部设有一微量称重模块，所述微量称重模块上方设有用于抓取坩埚的气缸式伸缩机械手；所述微量称重模块旁侧设有一用于抓取药粉储存瓶并自动倾倒向坩埚加料的自动加料机构；

所述自动加料机构，包括：一组丝杆电机、一组角度旋转电机、一转动电机、一平行电机机械手、一直线电机滑块、两直线电机导轨；所述两直线电机导轨设于所述箱体内部顶壁；所述直线电机滑块设于所述两直线电机导轨内；所述直线电机滑块下方固定连接所述一组丝杆电机，所述一组丝杆电机之间连接所述一组角度旋转电机，所述一组角度旋转电机之间连接所述转动电机，所述转动电机连接所述平行电机机械手；

所述气缸式伸缩机械手和所述自动加料机构均连接到设于箱体侧壁的控制器。

进一步地，所述翻折式前盖下端与所述箱体对应位置为磁性相吸。

进一步地，所述通风排气管还连接一空气滤芯。

本实用新型的优点：