[实用新型]一种分区控温的TOPCon电池扩散用加热炉体有效
申请号: | 202222772419.1 | 申请日: | 2022-10-21 |
公开(公告)号: | CN219280099U | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 李学峰;李静;胡传红;陶龙忠 | 申请(专利权)人: | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
主分类号: | C30B31/10 | 分类号: | C30B31/10;C30B31/12;C30B31/18;H01L31/18;H01L21/67;C30B29/06 |
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地址: | 224000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分区 topcon 电池 扩散 加热炉 | ||
本实用新型提供一种分区控温的TOPCon电池扩散用加热炉体,包括炉体,炉体沿其轴向依次划分为若干加热区,每个加热区可独立控制温度;每个加热区沿炉体圆周方向等分为偶数个温区,每个温区内蛇形绕设有均匀排布的加热炉丝,相邻温区内的加热炉丝的分布密度不同,相邻温区内的加热炉丝的线径不同,以炉体轴心对称分布的温区内的加热炉丝的线径相同。通过对炉体内结构和加热炉丝的排列布局进行优化,实现炉体内分区单独温控,能够对炉体内的温度做精确调控,从而有效提高炉体内的温度均匀性,改善光伏电池扩散均匀性效果,尤其针对TOPCon电池的扩散效果更佳。
技术领域
本实用新型属于光伏电池生产技术领域,尤其涉及一种分区控温的TOPCon电池扩散用加热炉体。
背景技术
光伏电池片生产制作需要经过约9道工序,其中扩散作为太阳能电池制造过程中的重要步骤,其对硅片的工艺环境要求高温高压,因此需要扩散炉设备作为电池硅片发生化学反应的场所。现有的技术普遍采用的是炉体整体温控,在炉体长度方向螺旋缠绕加热炉丝,炉体同一个圆周横截面加热功率相同,然而在生产过程中,炉体各处的负载布置不均匀,炉丝加热后,炉体内不同部位温度会有明显差异,这样就导致炉体内不同区域的温度分布不均,温控精度差,特别是针对TOPCon电池在扩散时的均匀性有待改善。
发明内容
鉴于以上,本实用新型提供一种分区控温的TOPCon电池扩散用加热炉体,通过对炉体内结构和加热炉丝的排列布局进行优化,实现炉体内分区单独温控,能够对炉体内的温度做精确调控,从而有效提高炉体内的温度均匀性,改善TOPCon电池扩散均匀性效果。具体的技术方案如下。
一种分区控温的TOPCon电池扩散用加热炉体,其特征在于:包括炉体,炉体沿其轴向依次划分为若干加热区,每个加热区可独立控制温度;每个加热区沿炉体圆周方向等分为偶数个温区,每个温区内蛇形绕设有均匀排布的加热炉丝,相邻温区内的加热炉丝的分布密度不同,相邻温区内的加热炉丝的线径不同,以炉体轴心对称分布的温区内的加热炉丝的线径相同。
进一步,所述炉体的外侧壁上设置有接线区域,所述加热炉丝通过接线区域的若干接线点与外部电源和温度调控模块连接。
进一步,所述温度调控模块为一个具有多个独立通道的电控器件。
进一步,所述温区等分个数为4-12个。
进一步,所述炉体的外侧壁上还设置有温度测试区域,温度测试区域与每个加热区相对应,温度测试区域连接温度监测模块,用于监测该加热区的温度。
进一步,所述加热炉丝的分布密度与该温区的硅片热容成正比。
进一步,所述加热炉丝的线径与该温区的硅片热容成反比。
本实用新型的分区控温的TOPCon电池扩散用加热炉体具有如下有益效果:
一、将炉体沿长轴向分为若干独立加热区,加热区之间互不干扰可单独控制,每个加热区内沿圆周方向还分为不同的温区,温区内通过对加热炉丝的缠绕密度和炉丝的线径粗细进行特殊布置,且不同温区可单独调控温区内炉丝的加热数量,实现精准调控温区加热功率,从而达到提高炉体内温场均匀性的效果,进而有效改善TOPCon电池扩散均匀性效果。
二、每个加热区配置对应的温度监测模块,有问题时可以快速的追踪到哪个加热区出现问题,方便检修和更换炉丝,节省维修成本和时间。
本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
图1为本实用新型的炉体结构示意图;
图2为本实用新型炉体内的加热区分布示意图;
图3为实用新型炉体截面4等分温区示意图;
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