[实用新型]吸嘴组件及烧录机设备

说明书

本实用新型涉及半导体加工技术设备领域，涉及一种吸嘴组件及烧录机设备。吸嘴组件其包括吸嘴结构、吸嘴连接座和感应机构，吸嘴结构用于连接外部气源并吸附元件；吸嘴连接座连接于吸嘴结构远离元件的一端，且吸嘴结构至少部分可活动地插设于吸嘴连接座内；感应机构包括感应件和感应开关，感应件连接于吸嘴结构，感应开关在吸嘴连接座的轴向上与吸嘴连接座相对固定设置，感应件相对于吸嘴连接座活动设置并用于控制感应开关的通断。在本实施例的吸嘴组件中，通过设置的吸嘴结构对元件进行吸附，当出现叠料时，设于吸嘴结构上的感应件便会与感应开关配合并触发感应开关，以实现本吸嘴组件的叠料感应功能。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术设备领域，尤其涉及一种吸嘴组件及烧录机设备。

背景技术

随着技术的进步，可烧录IC的集成化、大众化程度日益提高，对芯片刻录机的生产能力提出了更高的要求。在芯片的制作中，通常包括上下料、物料转移和物料烧录等几个步骤。

烧录设备一般采用夹爪夹取、真空吸附等方式转移例如芯片等元件，由于芯片元件通常具有平整表面，当两个或多个元件堆叠时便容易出现叠料现象，即多个芯片彼此之间吸附堆叠，现有的烧录设备不具备叠料检测功能，当出现叠料现象时容易导致元件损坏、设备损坏等不良现象。

因此，有必要针对上述问题进行改进，以改变现状。

实用新型内容

本实用新型提供一种吸嘴组件及烧录机设备，用于解决现有烧录设备不具有叠料检测功能而出现元件损坏、设备损坏等不良现象的问题。

本实用新型提出一种吸嘴组件，包括：

吸嘴结构，用于连接外部气源并吸附元件；

吸嘴连接座，连接于所述吸嘴结构远离所述元件的一端，且所述吸嘴结构至少部分可活动地插设于所述吸嘴连接座内；以及

感应机构，包括感应件和感应开关，所述感应件连接于所述吸嘴结构，所述感应开关在所述吸嘴连接座的轴向上与所述吸嘴连接座相对固定设置，所述感应件相对于所述吸嘴连接座活动设置并用于控制所述感应开关的通断。

根据本实用新型的一个实施例，所述吸嘴结构包括吸嘴件、连接管和安装座，所述连接管的一端可活动地插设于所述吸嘴连接座内，所述安装座套设于所述连接管的另一端，所述吸嘴件可拆卸连接于所述安装座，且所述吸嘴件用于吸附所述元件。

根据本实用新型的一个实施例，所述吸嘴件包括管体和限位凸部，所述限位凸部凸设于所述管体的一端，且所述管体至少部分插设于所述安装座内，所述限位凸部与所述安装座卡接配合。

根据本实用新型的一个实施例，所述感应件包括相接的感应部和连接部，所述连接部连接于所述吸嘴结构，所述感应部自所述连接部向外凸出，且所述感应部用于控制所述感应开关的通断。

根据本实用新型的一个实施例，所述感应部沿所述吸嘴结构的轴向延伸，且所述感应部环绕所述吸嘴结构设置。

根据本实用新型的一个实施例，所述感应开关为槽型感应开关。

根据本实用新型的一个实施例，所述吸嘴组件还包括缓冲机构，所述吸嘴连接座内部开设有容纳腔，所述吸嘴结构至少部分可活动地插设于所述容纳腔内，所述缓冲机构容置于所述容纳腔内，且所述缓冲机构用于驱使所述吸嘴结构沿其轴向朝向所述容纳腔外移动。

根据本实用新型的一个实施例，所述缓冲机构包括弹性件和调节件，所述调节件螺纹连接于所述吸嘴连接座，所述弹性件的相对两端分别抵接于所述调节件和所述吸嘴结构。

根据本实用新型的一个实施例，所述吸嘴连接座还开设有连通于所述容纳腔的活动槽，所述缓冲机构还包括限位销，所述限位销可拆卸连接于所述吸嘴结构，且所述限位销可活动地容置于所述活动槽内。