[实用新型]清扫装置、连接管组件和晶体生长设备

说明书

本实用新型公开了一种清扫装置、连接管组件和晶体生长设备，清扫装置包括固定件、清扫部件和第一驱动部件，固定件适于固设于第二支路的远离第一支路的一端；清扫部件包括连杆、承载台和铲除器，连杆穿设于固定件，承载台和铲除器沿连杆的轴向间隔设置，铲除器具有镂空部，铲除器位于承载台的背离固定件的一侧且用于至少清扫第一支路的内壁面，承载台用于承载铲除器去除的附着物的至少部分；第一驱动部件设于固定件且用于驱动连杆沿连杆的轴向移动。根据本实用新型的清扫装置，可以提高对管路的清理能力，节约清扫时间，延长对管路清扫周期，同时避免了管路堵塞造成的生产损失。

技术领域

本实用新型涉及管道技术领域，尤其是涉及一种清扫装置、连接管组件和晶体生长设备。

背景技术

相关技术中，在晶体生长过程中，晶体生长设备一般在真空状态下进行工作，在高温环境下，炉体内需要工艺气体进行保护或者反应，因此需要对晶体生长设备用真空泵进行持续抽空作业；然而在抽空作业的过程中，会伴随着大量的反应挥发物进入排放管道，由于排放管道处于炉体外部，且与外部环境接触，使得排放管道内温度较低，导致高温的反应挥发物在排出或进去排放管道时温度急剧降低，以至于反应挥发物会在排放管道入口处造成凝聚固化；当长时间的持续抽空作业，凝固的附着物会使得管路变细或者堵塞，造成炉体内压力变化和工艺气体流量变化，以影响晶体品质良率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种清扫装置，所述清扫装置可以提高对管路的清理能力，节约清扫时间，延长对管路清扫周期，同时避免了管路堵塞造成的生产损失。

本实用新型还提出一种具有上述清扫装置的连接管组件。

本实用新型还提出一种具有上述连接管组件的晶体生长设备。

根据本实用新型第一方面实施例的清扫装置，所述清扫装置用于清扫管路的内壁面，所述管路包括第一支路、第二支路和第三支路，所述第一支路和所述第二支路同轴设置，所述第三支路与所述第一支路和所述第二支路均连通，所述清扫装置包括：固定件，所述固定件适于固设于所述第二支路的远离所述第一支路的一端；清扫部件，所述清扫部件包括连杆、承载台和铲除器，所述连杆穿设于所述固定件，所述承载台和所述铲除器沿所述连杆的轴向间隔设置，所述铲除器具有镂空部，所述铲除器位于所述承载台的背离所述固定件的一侧且用于至少清扫所述第一支路的内壁面，所述承载台用于承载所述铲除器去除的附着物的至少部分；第一驱动部件，所述第一驱动部件设于所述固定件且用于驱动所述连杆沿所述连杆的轴向移动。

根据本实用新型实施例的清扫装置，通过设置清扫部件包括连杆、承载台和铲除器，铲除器用于铲除管路内壁面的附着物，承载台用于承载铲除器去除的附着物的至少部分，便于使得承载台上的附着物通过上述支路顺利排至管路外，方便附着物的集中清理、排放，提高了管路的清扫效率，节约单次清扫时间，避免了管路堵塞造成的生产损失，同时延后了需要对管路的清扫时间,从而延长管路的清扫周期、延长了机台大清周期，增大了单台次的工作时间。

在一些实施例中，所述承载台设于所述连杆的邻近所述铲除器的一端，所述承载台和所述铲除器之间设有多个连接件，多个所述连接件沿所述连杆的周向间隔设置。

在一些实施例中，所述连接件的横截面积小于所述连杆的横截面积。

在一些实施例中，所述铲除器形成为环形。

在一些实施例中，所述第一驱动部件包括：第一驱动器；伸缩机构，所述伸缩机构连接所述第一驱动器和所述清扫部件，且所述伸缩机构在所述第二支路的轴向上可伸缩变形。