[实用新型]清扫装置、连接管组件和晶体生长设备

权利要求书

1.一种清扫装置(100)，其特征在于，所述清扫装置(100)用于清扫管路的内壁面，所述管路包括第一支路(101)、第二支路(102)和第三支路(103)，所述第一支路(101)和所述第二支路(102)同轴设置，所述第三支路(103)与所述第一支路(101)和所述第二支路(102)均连通，

所述清扫装置(100)包括：

固定件(1)，所述固定件(1)适于固设于所述第二支路(102)的远离所述第一支路(101)的一端；

清扫部件(2)，所述清扫部件(2)包括连杆(21)、承载台(22)和铲除器(23)，所述连杆(21)穿设于所述固定件(1)，所述承载台(22)和所述铲除器(23)沿所述连杆(21)的轴向间隔设置，所述铲除器(23)具有镂空部(231)，所述铲除器(23)位于所述承载台(22)的背离所述固定件(1)的一侧且用于至少清扫所述第一支路(101)的内壁面，所述承载台(22)用于承载所述铲除器(23)去除的附着物的至少部分；

第一驱动部件(3)，所述第一驱动部件(3)设于所述固定件(1)且用于驱动所述连杆(21)沿所述连杆(21)的轴向移动。

2.根据权利要求1所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述承载台(22)设于所述连杆(21)的邻近所述铲除器(23)的一端，所述承载台(22)和所述铲除器(23)之间设有多个连接件(4)，多个所述连接件(4)沿所述连杆(21)的周向间隔设置。

3.根据权利要求2所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述连接件(4)的横截面积小于所述连杆(21)的横截面积。

4.根据权利要求2所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述铲除器(23)形成为环形。

5.根据权利要求1所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述第一驱动部件(3)包括：

第一驱动器(31)；

伸缩机构(32)，所述伸缩机构(32)连接所述第一驱动器(31)和所述清扫部件(2)，且所述伸缩机构(32)在所述第二支路(102)的轴向上可伸缩变形。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的清扫装置(100)，其特征在于，还包括转接件(5)和第二驱动部件(6)，所述第二驱动部件(6)用于驱动所述清扫部件(2)绕所述连杆(21)的轴向转动，其中，

所述转接件(5)与所述连杆(21)枢转配合，所述第二驱动部件(6)通过密封磁流体与所述转接件(5)相连，所述密封磁流体用于密封所述转接件和所述第二驱动部件(6)之间的间隙，所述第二驱动部件(6)直接驱动所述清扫部件(2)转动，所述第一驱动部件(3)通过所述转接件(5)间接驱动所述清扫部件(2)移动。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的清扫装置(100)，其特征在于，还包括：

伸缩密封件(7)，所述伸缩密封件(7)套设于所述连杆(21)的位于所述固定件(1)的背离所述承载台(22)的一侧的部分，且所述伸缩密封件(7)的两端分别密封连接于所述连杆(21)的远离所述承载台(22)的一端和所述固定件(1)。

8.一种连接管组件(200)，其特征在于，包括：

管路，所述管路包括第一支路(101)、第二支路(102)和第三支路(103)，所述第一支路(101)和所述第二支路(102)同轴设置，所述第三支路(103)与所述第一支路(101)和所述第二支路(102)均连通；

清扫装置(100)，所述清扫装置(100)为根据权利要求1-7中任一项所述的清扫装置(100)，所述清扫装置(100)固设于所述第二支路(102)且用于至少清扫所述第一支路(101)的内壁面。