[实用新型]一种单晶炉有效
申请号: | 202222622695.X | 申请日: | 2022-09-30 |
公开(公告)号: | CN219099382U | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 董升;卓珍珍;朱永刚;白锋;张伟建 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06;G01K7/02;G01K1/12 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 葛珊杉 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
本实用新型提供了一种单晶炉。所述单晶炉包括坩埚、换热器和测温模组;所述坩埚的顶部和所述换热器的底部间隔设置,所述硅液存储在所述坩埚中;所述测温模组包括测温探头,所述测温探头的一端和所述换热器的底部连接,在所述换热器向靠近所述坩埚移动的情况下,所述测温探头的另一端和所述硅液的液面的接触。这样,在实现对硅液的液面的温度准确测量、降低测量误差的同时,可以保证硅液的液面和换热器的底部存在一定的间隙,避免换热器浸入硅液中,进而保证拉晶过程的正常运转。
技术领域
本实用新型涉及光伏生产技术领域,特别是涉及一种单晶炉。
背景技术
在光伏制造业拉晶的过程中,特别是在晶棒通过直拉法完成拉制的过程中,单晶炉内的硅液的液面温度、硅液的液面和换热器的底面距离对拉晶生产的正常运行具有重要的意义。
目前,在测量单晶炉内的硅液的液面温度时,通常通过非接触式测量,之后通过换热器在硅业的液面中倒影判断硅液的液面和换热器的底面距离。
然而,由于非接触式测量具有一定的偏差,进而导致对单晶炉内的硅液的液面温度的测量的精确度降低,且在判断硅液的液面和换热器的底面距离的过程中,通过人工调节换热器的位置,会存在换热器浸入液面的风险,进而影响拉晶过程的正常运转。
实用新型内容
为了解决或部分的解决上述问题,本实用新型公开了一种单晶炉,以解决现有技术中单晶炉内的硅液的液面温度的测量不精确的问题。
本实用新型公开了一种单晶炉,所述单晶炉包括坩埚、换热器和测温模组;
所述坩埚的顶部和所述换热器的底部间隔设置,所述硅液存储在所述坩埚中;
所述测温模组包括测温探头,所述测温探头的一端和所述换热器的底部连接,在所述换热器向靠近所述坩埚移动的情况下,所述测温探头的另一端和所述硅液的液面接触。
可选的,所述测温模组还包括导线,所述换热器包括水道;
所述水道从所述换热器的顶部连通所述换热器的底部,所述导线穿过所述水道和所述测温探头连接。
可选的,所述测温模组还包括控制器;
所述控制器通过所述导线和所述测温探头电连接,其中,所述控制器用于将所述测温探头传递的电信号转换为温度信息。
可选的,所述测温模组还包括显示器;
所述显示器和所述控制器电连接,所述显示器用于显示所述控制器转换的所述温度信息。
可选的,所述单晶炉包括的所述测温探头的数量大于或者等于二。
可选的,多个所述测温探头周向分布在所述换热器的底部。
可选的,所述测温探头和所述硅液的液面接触的一端为锥形。
可选的,所述测温探头包括合金电偶和耐高温保护套;
所述耐高温保护套包裹在所述测温探头的外部,所述耐高温保护套和所述换热器的底部焊接。
可选的,所述测温探头的长度大于或者等于所述换热器的底部和所述硅液的液面之间的最小距离。
可选的,所述单晶炉还包括热屏和保温模组;
所述热屏包裹在所述换热器靠近所述换热器的一端,所述保温模组设置在所述热屏远离所述换热器的一侧。
与现有技术相比,本实用新型实施例包括以下优点:
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