[实用新型]一种单晶炉有效
申请号: | 202222622695.X | 申请日: | 2022-09-30 |
公开(公告)号: | CN219099382U | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 董升;卓珍珍;朱永刚;白锋;张伟建 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06;G01K7/02;G01K1/12 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 葛珊杉 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
1.一种单晶炉,其特征在于,所述单晶炉包括坩埚、换热器和测温模组;
所述坩埚的顶部和所述换热器的底部间隔设置,硅液存储在所述坩埚中;
所述测温模组包括测温探头,所述测温探头的一端和所述换热器的底部连接,在所述换热器向靠近所述坩埚移动的情况下,所述测温探头的另一端和所述硅液的液面接触。
2.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于,所述测温模组还包括导线,所述换热器包括水道;
所述水道从所述换热器的顶部连通所述换热器的底部,所述导线穿过所述水道和所述测温探头连接。
3.根据权利要求2所述的单晶炉,其特征在于,所述测温模组还包括控制器;
所述控制器通过所述导线和所述测温探头电连接,其中,所述控制器用于将所述测温探头传递的电信号转换为温度信息。
4.根据权利要求3所述的单晶炉,其特征在于,所述测温模组还包括显示器;
所述显示器和所述控制器电连接,所述显示器用于显示所述控制器转换的所述温度信息。
5.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于,所述单晶炉包括的所述测温探头的数量大于或者等于二。
6.根据权利要求5所述的单晶炉,其特征在于,多个所述测温探头周向分布在所述换热器的底部。
7.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于,所述测温探头和所述硅液的液面接触的一端为锥形。
8.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于,所述测温探头包括合金电偶和耐高温保护套;
所述耐高温保护套包裹在所述测温探头的外部,所述耐高温保护套和所述换热器的底部焊接。
9.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于,所述测温探头的长度大于或者等于所述换热器的底部和所述硅液的液面之间的最小距离。
10.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于,所述单晶炉还包括热屏和保温模组;
所述热屏包裹在所述换热器靠近所述换热器的一端,所述保温模组设置在所述热屏远离所述换热器的一侧。
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