[实用新型]一种单晶用快速拆除石英坩埚的装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶用快速拆除石英坩埚的装置，包括：隔离间、冷却剂储罐、喷射机构和管道；隔离间用于放入粘连有碳碳埚邦的石英坩埚；喷射机构设置于所述隔离间，且用于对石英坩埚的内壁喷射冷却剂；管道的一端与冷却剂储罐的出口连接，另一端穿入隔离间内与喷射机构的入口连接。在本方案中，对石英坩埚的分离方式作出突破性转变，将原先简单的物理敲击破碎分离方式转变为冷热内应力破碎分离方式，即通过热涨冷缩的原理使石英坩埚产生较大的内应力，进而使得石英坩埚能够快速自行裂开，达到与碳碳埚邦分离的目的，从而有助于降低碳碳埚邦的损耗，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶制造技术领域，特别涉及一种单晶用快速拆除石英坩埚的装置。

背景技术

在RCZ直拉单晶技术中，石英坩埚作为融硅的容纳容器，其作用至关重要，该部件一炉一换，石英坩埚高温下会软化，使得高温下的支撑强度远远不够，造成无法单独满足使用要求。因此在直拉单晶工艺中，石英坩埚会嵌套在外形相同的碳碳埚邦内，通过与强度韧性更好的碳碳埚邦的配合，以达到使用要求。与此同时也带来了问题，那就是石英坩埚软化后会与碳碳埚邦紧贴粘连，只能通过敲击破碎石英坩埚的方式来使其分离，不仅费时费力，还会对碳碳埚邦造成损伤，而且碳碳埚邦的价格非常昂贵，这种取石英埚的方式是碳碳埚邦损坏的重要因素。

也就是说，当前石英坩埚与碳碳埚邦的分离方式中，基本是靠人力敲击破碎石英坩埚完成的，这不仅费时费力，还会对外侧碳碳埚邦损伤极大，降低碳碳埚邦的使用寿命，增加成本。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶用快速拆除石英坩埚的装置，对石英坩埚的分离方式作出突破性转变，将原先简单的物理敲击破碎分离方式转变为冷热内应力破碎分离方式，即通过热涨冷缩的原理使石英坩埚产生较大的内应力，进而使得石英坩埚能够快速自行裂开，达到与碳碳埚邦分离的目的，从而有助于降低碳碳埚邦的损耗，降低生产成本。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶用快速拆除石英坩埚的装置，包括：隔离间、冷却剂储罐、喷射机构和管道；

所述隔离间用于放入粘连有碳碳埚邦的石英坩埚；

所述喷射机构设置于所述隔离间，且用于对所述石英坩埚的内壁喷射冷却剂；

所述管道的一端与所述冷却剂储罐的出口连接，另一端穿入所述隔离间内与所述喷射机构的入口连接。

优选地，还包括：

用于带动所述喷射机构向下伸入所述石英坩埚的空腔内，和带动所述喷射机构向上撤出所述石英坩埚的空腔的驱动机构。

优选地，所述管道包括：第一管道、伸缩软管和第二管道；

所述伸缩软管和所述第二管道均沿竖直方向设置；所述第一管道的一端与所述冷却剂储罐的出口连接，另一端与所述伸缩软管的顶端连接；所述第二管道的顶端与所述伸缩软管的底端连接，底端从所述隔离间的顶部穿入其内与所述喷射机构的入口连接；

所述驱动机构包括升降机构；

所述升降机构设置于所述隔离间的顶部，且其活动端与所述第二管道位于所述隔离间顶部的中间部分连接。

优选地，所述管道还包括T型管道；

所述T型管道设置于所述隔离间内，且其竖直端与所述第二管道的底端连接；

所述喷射机构的数量为两个，两个所述喷射机构的入口与所述T型管道的两个水平端一一对应连接。

优选地，所述喷射机构为喷头。

优选地，所述喷头包括：圆筒部和半圆球部；