[实用新型]一种单晶用快速拆除石英坩埚的装置

权利要求书

1.一种单晶用快速拆除石英坩埚的装置，其特征在于，包括：隔离间(10)、冷却剂储罐、喷射机构和管道(20)；

所述隔离间(10)用于放入粘连有碳碳埚邦的石英坩埚；

所述喷射机构设置于所述隔离间(10)，且用于对所述石英坩埚的内壁喷射冷却剂；

所述管道(20)的一端与所述冷却剂储罐的出口连接，另一端穿入所述隔离间(10)内与所述喷射机构的入口连接。

2.根据权利要求1所述的单晶用快速拆除石英坩埚的装置，其特征在于，还包括：

用于带动所述喷射机构向下伸入所述石英坩埚的空腔内，和带动所述喷射机构向上撤出所述石英坩埚的空腔的驱动机构。

3.根据权利要求2所述的单晶用快速拆除石英坩埚的装置，其特征在于，所述管道(20)包括：第一管道(21)、伸缩软管(22)和第二管道(23)；

所述伸缩软管(22)和所述第二管道(23)均沿竖直方向设置；所述第一管道(21)的一端与所述冷却剂储罐的出口连接，另一端与所述伸缩软管(22)的顶端连接；所述第二管道(23)的顶端与所述伸缩软管(22)的底端连接，底端从所述隔离间(10)的顶部穿入其内与所述喷射机构的入口连接；

所述驱动机构包括升降机构(30)；

所述升降机构(30)设置于所述隔离间(10)的顶部，且其活动端与所述第二管道(23)位于所述隔离间(10)顶部的中间部分连接。

4.根据权利要求3所述的单晶用快速拆除石英坩埚的装置，其特征在于，所述管道(20)还包括T型管道(24)；

所述T型管道(24)设置于所述隔离间(10)内，且其竖直端与所述第二管道(23)的底端连接；

所述喷射机构的数量为两个，两个所述喷射机构的入口与所述T型管道(24)的两个水平端一一对应连接。

5.根据权利要求4所述的单晶用快速拆除石英坩埚的装置，其特征在于，所述喷射机构为喷头(50)。

6.根据权利要求5所述的单晶用快速拆除石英坩埚的装置，其特征在于，所述喷头(50)包括：圆筒部(51)和半圆球部(52)；

所述圆筒部(51)第一端的内壁与所述T型管道(24)水平端的外壁为螺纹连接，第二端与所述半圆球部(52)的端面连接；所述半圆球部(52)的球顶开设有连通于所述圆筒部(51)的内腔的矩形喷嘴(521)。

7.根据权利要求3所述的单晶用快速拆除石英坩埚的装置，其特征在于，所述升降机构(30)包括链条升降机构。

8.根据权利要求1所述的单晶用快速拆除石英坩埚的装置，其特征在于，所述冷却剂储罐包括液氮储罐(40)。

9.根据权利要求1所述的单晶用快速拆除石英坩埚的装置，其特征在于，所述隔离间(10)设有排气口(11)。

10.根据权利要求1所述的单晶用快速拆除石英坩埚的装置，其特征在于，还包括：

设置于所述隔离间(10)的底部的基座(60)。