[实用新型]一种卷对卷曝光装置有效

专利信息
申请号: 202222525228.5 申请日: 2022-09-23
公开(公告)号: CN219435213U 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 陈国军;马迪;吴景舟 申请(专利权)人: 迪盛(武汉)微电子科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) 32269 代理人: 安纪平
地址: 430000 湖北省武汉市经济技术开发区8MC地*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 曝光 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种卷对卷曝光装置,包括卷收卷、拉料机构、曝光机构、张紧机构和卷放卷,卷收卷和卷放卷之间设置拉料机构、曝光机构和张紧机构,卷收卷和曝光机构之间设置拉料机构,曝光机构与卷放卷之间设置张紧机构,卷放卷中的卷料经张紧机构、曝光机构、拉料机构进入卷收卷中,并且卷料通过张紧机构张紧。通过采用张紧机构,能够使卷料始终处于张紧状态,进而避免在拉料机构停止动作后,卷料由于惯性而导致的翘起,使卷料可正常被曝光处理。

技术领域

本实用新型涉及曝光技术领域,特别是涉及一种卷对卷曝光装置。

背景技术

卷对卷曝光设备用于对卷料进行曝光处理。目前,如图1所示,卷对卷曝光设备包括卷收卷10、卷放卷50及设于卷收卷10和卷放卷50之间的拉料机构20和曝光机构30。在对卷料m进行曝光时,拉料机构20从拉料起始位置拉动一定长度的卷料m。曝光机构30进而可对卷料m进行曝光处理。当曝光完成后,拉料机构20再次从拉料起始位置拉动一定长度的卷料m,使已曝光处理的卷料m离开曝光机构30,而未被曝光处理的卷料m进入曝光机构30中。然而,当拉料机构20在完成一次拉料之后,拉料机构20停止动作,但是卷料m由于惯性会继续向前移动,从而在某个位置出现翘起的现象,如图1所示,在曝光机构30中卷料m出现翘起。

当卷料m出现在曝光机构30中时,影响曝光效果,如果在其他区域翘起,而翘起的部分不稳定,则会影响曝光机构30中卷料m的固定。

因而,如何避免拉料后卷料m翘起是亟需解决的问题。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种卷对卷曝光装置,其能够避免出现卷料翘起的问题。

为实现上述目的,本实用新型的实施例提供了一种卷对卷曝光装置,所述卷对卷曝光装置包括卷收卷、拉料机构、曝光机构、张紧机构和卷放卷,所述卷收卷和卷放卷之间设置所述拉料机构、曝光机构和张紧机构,所述卷收卷和曝光机构之间设置所述拉料机构,所述曝光机构与所述卷放卷之间设置所述张紧机构,所述卷放卷中的卷料经所述张紧机构、曝光机构、拉料机构进入所述卷收卷中,且所述卷料通过所述张紧机构张紧。

在本实用新型的一个或多个实施方式中,所述张紧机构包括支撑件和张紧杆,所述张紧杆与所述支撑件相枢接,且所述张紧杆位于枢接点的一侧设有用于使卷料张紧的张紧轮,所述卷放卷中的卷料环绕所述张紧轮后进入所述曝光机构中。

在本实用新型的一个或多个实施方式中,所述张紧杆位于枢接点的一侧设有配重件。

在本实用新型的一个或多个实施方式中,所述曝光机构包括:

卷料吸附件,所述卷料吸附件设于所述卷料的下方;

曝光镜头,所述曝光镜头设于所述卷料的上方并可沿卷料移动方向移动。

在本实用新型的一个或多个实施方式中,所述卷料吸附件为吸盘

在本实用新型的一个或多个实施方式中,所述曝光机构还包括用于抬升卷料的抬升机构,所述卷料吸附件的两侧均设置一所述抬升机构。

在本实用新型的一个或多个实施方式中,所述抬升机构包括举升件和用于驱动所述举升件上升或下降的驱动件,所述举升件与所述驱动件相连。

在本实用新型的一个或多个实施方式中,所述曝光机构还包括对位镜头,所述对位镜头设于所述卷料的上方并与所述曝光镜头同步移动。

在本实用新型的一个或多个实施方式中,所述对位镜头与所述曝光镜头安装于一体。

在本实用新型的一个或多个实施方式中,所述拉料机构包括夹持件和驱动所述夹持件移动预设距离的移动件,所述夹持件与所述移动件相连。

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