[实用新型]一种卷对卷曝光装置有效

专利信息
申请号: 202222525228.5 申请日: 2022-09-23
公开(公告)号: CN219435213U 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 陈国军;马迪;吴景舟 申请(专利权)人: 迪盛(武汉)微电子科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) 32269 代理人: 安纪平
地址: 430000 湖北省武汉市经济技术开发区8MC地*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 曝光 装置
【权利要求书】:

1.一种卷对卷曝光装置,其特征在于,所述卷对卷曝光装置包括卷收卷、拉料机构、曝光机构、张紧机构和卷放卷,所述卷收卷和卷放卷之间设置所述拉料机构、曝光机构和张紧机构,所述卷收卷和曝光机构之间设置所述拉料机构,所述曝光机构与所述卷放卷之间设置所述张紧机构,所述卷放卷中的卷料经所述张紧机构、曝光机构、拉料机构进入所述卷收卷中,且所述卷料通过所述张紧机构张紧。

2.如权利要求1所述的卷对卷曝光装置,其特征在于,所述张紧机构包括支撑件和张紧杆,所述张紧杆与所述支撑件相枢接,且所述张紧杆位于枢接点的一侧设有用于使卷料张紧的张紧轮,所述卷放卷中的卷料环绕所述张紧轮后进入所述曝光机构中。

3.如权利要求2所述的卷对卷曝光装置,其特征在于,所述张紧杆位于枢接点的一侧设有配重件。

4.如权利要求1所述的卷对卷曝光装置,其特征在于,所述曝光机构包括:

卷料吸附件,所述卷料吸附件设于所述卷料的下方;

曝光镜头,所述曝光镜头设于所述卷料的上方并可沿卷料移动方向移动。

5.如权利要求4所述的卷对卷曝光装置,其特征在于,所述卷料吸附件为吸盘。

6.如权利要求4所述的卷对卷曝光装置,其特征在于,所述曝光机构还包括用于抬升卷料的抬升机构,所述卷料吸附件的两侧均设置一所述抬升机构。

7.如权利要求6所述的卷对卷曝光装置,其特征在于,所述抬升机构包括举升件和用于驱动所述举升件上升或下降的驱动件,所述举升件与所述驱动件相连。

8.如权利要求4所述的卷对卷曝光装置,其特征在于,所述曝光机构还包括对位镜头,所述对位镜头设于所述卷料的上方并与所述曝光镜头同步移动。

9.如权利要求8所述的卷对卷曝光装置,其特征在于,所述对位镜头与所述曝光镜头安装于一体。

10.如权利要求1所述的卷对卷曝光装置,其特征在于,所述拉料机构包括夹持件和驱动所述夹持件移动预设距离的移动件,所述夹持件与所述移动件相连。

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