[实用新型]一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置

说明书

本实用新型提供了一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，包括：旋风分离装置、硅粉缓冲装置和硅粉排放装置；其中，所述旋风分离装置的内部设置有旋风分离器，所述旋风分离装置的顶部设置有还原尾气入口，所述旋风分离装置的底部连接有第一管道，所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲装置的顶部连通；所述硅粉缓冲装置的底部连接有第二管道，所述第二管道的下端与所述硅粉排放装置的顶部连通；所述硅粉排放装置的下端连接有硅粉外排口。本实用新型中提供的装置将还原尾气夹带的硅粉排出系统，解决了尾气回收系统机泵频繁切换、设备堵塞，严重干扰尾气回收处理工艺运行的问题，通过将硅粉排出系统，也解决了硅粉进入系统污染生产环境的问题。

技术领域

本实用新型涉及生产多晶硅的技术领域，具体涉及一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置。

背景技术

目前，国际上多晶硅生产技术大多采用改良西门子法，其中部分企业采用的是12对棒、24对棒等小型还原炉，能耗比较高，生产成本也相对较高。大部分企业采用更为经济的36对棒、48对棒等大型还原炉，以提高生产效率，提高多晶硅单炉产量，降低多晶硅能耗。然而由于大型还原炉热场的不均匀性，运行过程中易产生硅粉，硅粉随着尾气带入尾气回收系统，给尾气回收设备造成严重破坏。尾气回收系统机泵受硅粉影响，必须频繁切换清洗过滤器，且硅粉沉积附着在管道机泵上，会造成磨损。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，所述装置用于克服现有技术还原尾气中夹带硅粉的问题，实现对还原尾气除尘后的尾气回收，以及对还原尾气中的硅粉回收。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

第一方面，本实用新型提供了一种还原尾气除尘及硅粉回收处理的装置，包括：

旋风分离装置、硅粉缓冲装置和硅粉排放装置；

其中，所述旋风分离装置的内部设置有旋风分离器，所述旋风分离装置的顶部设置有还原尾气入口，所述旋风分离装置的底部连接有第一管道，所述第一管道的上端与所述旋风分离装置的底部连通，所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲装置的顶部连通；所述硅粉缓冲装置的底部连接有第二管道，所述第二管道的上端与所述硅粉缓冲装置的底部连通，所述第二管道的下端与所述硅粉排放装置的顶部连通；所述硅粉排放装置的下端连接有硅粉外排口。

进一步地，所述旋风分离装置的顶部还设置有第一尾气出口。

进一步地，所述旋风分离装置上还设置有第一加热设备；和/或所述硅粉缓冲装置上还设置有第二加热设备；和/或所述硅粉排放装置上还设置有第三加热设备。

进一步地，所述硅粉缓冲装置中包括硅粉缓冲罐，所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲罐的顶部连通；

所述硅粉缓冲罐的顶部还设置有第二尾气出口。

进一步地，所述硅粉缓冲装置中还设置有料位监控装置；和/或压力监控装置；和/或第一温度监控装置；所述料位监控装置用于监控所述硅粉缓冲罐中的氯硅烷液体，所述压力监控装置用于监控所述硅粉缓冲罐中的压力，所述第一温度监控装置用于监控所述硅粉缓冲罐中硅粉的温度。

进一步地，所述硅粉缓冲装置的底部还连接有第一置换气管道，所述第一置换气管道与所述硅粉缓冲罐连通，用于向所述硅粉缓冲罐中输送置换气。

进一步地，所述第一管道上设置有第一开关阀，所述第一开关阀具有第一状态和第二状态，所述第一开关阀处于第一状态时，所述第一开关阀导通所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲装置的顶部；所述第一开关阀处于第二状态时，所述第一开关阀非导通所述第一管道的下端与所述硅粉缓冲装置的顶部；和/ 或