[实用新型]一种砷化镓单晶的表面清洁装置有效

专利信息
申请号: 202222357070.5 申请日: 2022-09-06
公开(公告)号: CN218424409U 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 何建军;沈桂英;赵有文 申请(专利权)人: 南通富电半导体材料科技有限公司;如皋市化合物半导体产业研究所;江苏秦烯新材料有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人: 李莹
地址: 226500 江苏省南通市如皋市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 砷化镓单晶 表面 清洁 装置
【说明书】:

本实用新型涉及一种表面清洁装置,尤其涉及一种砷化镓单晶的表面清洁装置。要解决的技术问题:提供一种可以自动清洗,减轻人们的负担的砷化镓单晶的表面清洁装置。一种砷化镓单晶的表面清洁装置,包括有支撑架、安装筒、水泵、进水管和连接管等;安装筒底部左右两侧均连接有支撑架,安装筒右侧连接有水泵,水泵右侧连接有进水管,水泵左侧连接有供水流动的连接管,连接管的两端分别密封式贯穿安装筒前后两侧。本实用新型的电机可以带动砷化镓单晶转动,水泵可以将水输送到喷头内,水通过喷头喷出,对砷化镓单晶进行清洗,如此能够自动转动砷化镓单晶,自动清洗砷化镓单晶,减轻人们的负担。

技术领域

本实用新型涉及一种表面清洁装置,尤其涉及一种砷化镓单晶的表面清洁装置。

背景技术

砷化镓单晶是采用砷化镓制成的半导体器件,具有噪音小、抗辐射能力强等特点,砷化镓单晶在制作过程中,需要进行切割,切割完成之后,砷化镓单晶表面会附着一层粉尘,需要进行清洗。

公开号为CN210159998U的专利,公开了一种砷化镓晶片表面清洁装置,包括手柄,在手柄的前端可拆卸地安装有清洁头,在清洁头的前端设置有一根清洁刷毛,清洁头与手柄的连接结构为:在手柄的前端设有定位槽,在定位槽内壁设有半球形限位孔,清洁头的内部中空,在清洁头侧壁设有通孔,在清洁头的内部设弹簧片,弹簧片的一端与清洁头的内壁相固定、另一端固定有伸入通孔且与半球形限位孔相适配的半球形定位块,当清洁头插入手柄的定位槽且转动至半球形定位块与半球形限位孔相对应时,半球形定位块在弹簧片的向外弹力作用下会伸出通孔并插入半球形限位孔,将清洁头与手柄相连接固定。该装置操作简单,使用方便,能有效清除附着在砷化镓晶片表面的颗粒物质,但是该装置在对砷化镓晶片进行清洁时,整个过程都是人们手动操作,且砷化镓晶片一般是批量生产的,数量比较多,人们的工作负担很大,手部容易酸痛。

针对目前存在的问题,设计一种可以自动清洗,减轻人们的负担的砷化镓单晶的表面清洁装置。

实用新型内容

为了克服砷化镓晶片一般是批量生产的,数量比较多,人们的工作负担很大,手部容易酸痛的缺点,要解决的技术问题:提供一种可以自动清洗,减轻人们的负担的砷化镓单晶的表面清洁装置。

技术方案是:一种砷化镓单晶的表面清洁装置,包括有支撑架、安装筒、水泵、进水管、连接管、喷头、排水管和旋转机构,安装筒底部左右两侧均连接有支撑架,安装筒右侧连接有水泵,水泵右侧连接有进水管,水泵左侧连接有供水流动的连接管,连接管的两端分别密封式贯穿安装筒前后两侧,连接管的两端均连接有用于将水喷出的喷头,喷头位于安装筒内,安装筒底部中间连接有排水管,安装筒左侧设有用于转动砷化镓单晶的旋转机构。

进一步地,旋转机构包括有电机、支撑轴、导向架、移动杆、夹块、弹簧、支撑杆、防护板和扭簧,安装筒左侧连接有电机,安装筒中部转动式连接有支撑轴,支撑轴左端和电机的输出轴连接,支撑轴外侧左部均匀间隔的连接有导向架,支撑轴外侧右部也均匀间隔的连接有导向架,每个导向架上均滑动式连接有移动杆,移动杆内端均连接有用于夹住砷化镓单晶的夹块,每根移动杆上均绕有弹簧,弹簧的两端分别与移动杆和导向架连接,安装筒后侧上部连接有支撑杆,支撑杆上转动式连接有能够将水挡住的防护板,防护板将安装筒顶部盖住,支撑杆上绕有两根扭簧,扭簧的两端分别与支撑杆和防护板连接。

进一步地,还包括有把手,防护板顶部前侧连接有把手。

进一步地,还包括有橡胶垫,两个支撑架底部均连接有橡胶垫。

进一步地,还包括有防脱环,进水管外侧连接有防脱环。

进一步地,还包括有照明灯,安装筒内右侧上部安装有照明灯。

本实用新型具有如下优点:1、本实用新型的电机可以带动砷化镓单晶转动,水泵可以将水输送到喷头内,水通过喷头喷出,对砷化镓单晶进行清洗,如此能够自动转动砷化镓单晶,自动清洗砷化镓单晶,减轻人们的负担。

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