[实用新型]一种砷化镓单晶的表面清洁装置有效

专利信息
申请号: 202222357070.5 申请日: 2022-09-06
公开(公告)号: CN218424409U 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 何建军;沈桂英;赵有文 申请(专利权)人: 南通富电半导体材料科技有限公司;如皋市化合物半导体产业研究所;江苏秦烯新材料有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人: 李莹
地址: 226500 江苏省南通市如皋市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 砷化镓单晶 表面 清洁 装置
【权利要求书】:

1.一种砷化镓单晶的表面清洁装置,其特征在于:包括有支撑架(1)、安装筒(2)、水泵(3)、进水管(4)、连接管(5)、喷头(6)、排水管(7)和旋转机构(8),安装筒(2)底部左右两侧均连接有支撑架(1),安装筒(2)右侧连接有水泵(3),水泵(3)右侧连接有进水管(4),水泵(3)左侧连接有供水流动的连接管(5),连接管(5)的两端分别密封式贯穿安装筒(2)前后两侧,连接管(5)的两端均连接有用于将水喷出的喷头(6),喷头(6)位于安装筒(2)内,安装筒(2)底部中间连接有排水管(7),安装筒(2)左侧设有用于转动砷化镓单晶的旋转机构(8)。

2.如权利要求1所述的一种砷化镓单晶的表面清洁装置,其特征在于:旋转机构(8)包括有电机(80)、支撑轴(81)、导向架(82)、移动杆(83)、夹块(84)、弹簧(85)、支撑杆(86)、防护板(87)和扭簧(88),安装筒(2)左侧连接有电机(80),安装筒(2)中部转动式连接有支撑轴(81),支撑轴(81)左端和电机(80)的输出轴连接,支撑轴(81)外侧左部均匀间隔的连接有导向架(82),支撑轴(81)外侧右部也均匀间隔的连接有导向架(82),每个导向架(82)上均滑动式连接有移动杆(83),移动杆(83)内端均连接有用于夹住砷化镓单晶的夹块(84),每根移动杆(83)上均绕有弹簧(85),弹簧(85)的两端分别与移动杆(83)和导向架(82)连接,安装筒(2)后侧上部连接有支撑杆(86),支撑杆(86)上转动式连接有能够将水挡住的防护板(87),防护板(87)将安装筒(2)顶部盖住,支撑杆(86)上绕有两根扭簧(88),扭簧(88)的两端分别与支撑杆(86)和防护板(87)连接。

3.如权利要求2所述的一种砷化镓单晶的表面清洁装置,其特征在于:还包括有把手(89),防护板(87)顶部前侧连接有把手(89)。

4.如权利要求3所述的一种砷化镓单晶的表面清洁装置,其特征在于:还包括有橡胶垫(9),两个支撑架(1)底部均连接有橡胶垫(9)。

5.如权利要求4所述的一种砷化镓单晶的表面清洁装置,其特征在于:还包括有防脱环(10),进水管(4)外侧连接有防脱环(10)。

6.如权利要求5所述的一种砷化镓单晶的表面清洁装置,其特征在于:还包括有照明灯(11),安装筒(2)内右侧上部安装有照明灯(11)。

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