[实用新型]晶圆检测系统

说明书

本申请是关于一种晶圆检测系统。该系统包括：照明装置、探测装置以及载物台；照明装置包括明场照明装置以及暗场照明装置；探测装置中设有明场探测器以及暗场探测器；载物台上放置有待测晶圆；明场探测器的进光端设有第一滤光片，第一滤光片用于滤出待测晶圆的第一反射光线，第一反射光线为明场照明装置的光线照射在待测晶圆上反射的光线；暗场探测器的进光端设有第二滤光片，第二滤光片用于滤出待测晶圆的第二反射光线，第二反射光线为暗场照明装置的光线照射在待测晶圆上反射的光线。本申请提供的方案，能够同时对晶圆进行明场成像和暗场成像，满足晶圆缺陷检测的需求。

技术领域

本申请涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及晶圆检测系统。

背景技术

据统计，未来几年内全球SiC和GaN晶圆器件市场将保持高增速。其中，以5G基建、新能源汽车充电桩、轨道交通及特高压等应用场景尤为显著，以GaN为核心的射频半导体，支撑着5G基站建设，以SiC为核心的功率半导体，支撑着新能源汽车充电桩、特高压以及轨道交通系统的建设。因此，对于SiC和GaN晶圆器件的质量要求越来越高，对于晶圆的检测需求也日益提升。

在现有技术中，基于微分干涉对晶圆进行检测的解决方案只能实现明场的图像成像，但是在晶圆检测中也会存在需要利用暗场图像来进行检测的缺陷，因此，需要设计一种能够同时对晶圆进行明场成像和暗场成像的检测系统，以能够满足晶圆缺陷检测的需求。

实用新型内容

为克服相关技术中存在的问题，本申请提供一种晶圆检测系统，该晶圆检测系统，能够同时对晶圆进行明场成像和暗场成像，满足晶圆缺陷检测的需求。

本申请提供一种晶圆检测系统，包括：

照明装置1、探测装置2以及载物台3；

照明装置1包括明场照明装置11以及暗场照明装置12；

探测装置2中设有明场探测器21以及暗场探测器22；

载物台3上放置有待测晶圆31；

明场探测器21的进光端设有第一滤光片23，第一滤光片23用于滤出待测晶圆31的第一反射光线，第一反射光线为明场照明装置11的光线照射在待测晶圆31上反射的光线；

暗场探测器22的进光端设有第二滤光片24，第二滤光片24用于滤出待测晶圆31的第二反射光线，第二反射光线为暗场照明装置12的光线照射在待测晶圆31上反射的光线。

在一种实施方式中，探测装置2包括第一光线传输通道25以及第二光线传输通道26；

第一光线传输通道25的一端设有微分干涉棱镜27以及显微物镜28，另一端设有明场探测器21；

第二光线传输通道26的一端与第一光线传输通道25的通道侧壁的连通，另一端设有暗场探测器22。

在一种实施方式中，明场照明装置11包括LED光源111、透镜组112以及第三光线传输通道113；

透镜组112的一端设有LED光源111，透镜组112用于将LED光源111整形为第一输入光源，第一输入光源为发散角为11°的光源；

透镜组112的另一端与第三光线传输通道113的一端连通；

第三光线传输通道113的另一端与第一光线传输通道25的通道侧壁连通，使得第一输入光源能够通过第三光线传输通道113传输至第一光线传输通道25中。

在一种实施方式中，透镜组112的另一端与第三光线传输通道113的一端垂直连通；

透镜组112与第三光线传输通道113的连通位置处设有光源反光镜114；