[实用新型]晶圆检测系统

权利要求书

1.一种晶圆检测系统，其特征在于，包括：

照明装置（1）、探测装置（2）以及载物台（3）；

所述照明装置（1）包括明场照明装置（11）以及暗场照明装置（12）；

所述探测装置（2）中设有明场探测器（21）以及暗场探测器（22）；

所述载物台（3）上放置有待测晶圆（31）；

所述明场探测器（21）的进光端设有第一滤光片（23），所述第一滤光片（23）用于滤出所述待测晶圆（31）的第一反射光线，所述第一反射光线为所述明场照明装置（11）的光线照射在所述待测晶圆（31）上反射的光线；

所述暗场探测器（22）的进光端设有第二滤光片（24），所述第二滤光片（24）用于滤出所述待测晶圆（31）的第二反射光线，所述第二反射光线为所述暗场照明装置（12）的光线照射在所述待测晶圆（31）上反射的光线。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测系统，其特征在于，

所述探测装置（2）包括第一光线传输通道（25）以及第二光线传输通道（26）；

所述第一光线传输通道（25）的一端设有微分干涉棱镜（27）以及显微物镜（28），另一端设有所述明场探测器（21）；

所述第二光线传输通道（26）的一端与所述第一光线传输通道（25）的通道侧壁的连通，另一端设有所述暗场探测器（22）。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测系统，其特征在于，

所述明场照明装置（11）包括LED光源（111）、透镜组（112）以及第三光线传输通道（113）；

所述透镜组（112）的一端设有所述LED光源（111），所述透镜组（112）用于将所述LED光源（111）整形为第一输入光源，所述第一输入光源为发散角为11°的光源；

所述透镜组（112）的另一端与所述第三光线传输通道（113）的一端连通；

所述第三光线传输通道（113）的另一端与所述第一光线传输通道（25）的通道侧壁连通，使得所述第一输入光源能够通过所述第三光线传输通道（113）传输至所述第一光线传输通道（25）中。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测系统，其特征在于，

所述透镜组（112）的另一端与所述第三光线传输通道（113）的一端垂直连通；

所述透镜组（112）与所述第三光线传输通道（113）的连通位置处设有光源反光镜（114）；

所述光源反光镜（114）的镜面与水平面之间的夹角为45°，使得所述第一输入光源能够通过所述光源反光镜（114）反射进入所述第三光线传输通道（113）。

5.根据权利要求3所述的晶圆检测系统，其特征在于，

所述第三光线传输通道（113）内设有起偏器（115），所述起偏器（115）用于将所述第一输入光源整形为第二输入光源，所述第二输入光源为发散角为11°的偏振光源。

6.根据权利要求5所述的晶圆检测系统，其特征在于，

所述第一光线传输通道（25）与所述第三光线传输通道（113）的连通位置处设有第一半透半反射镜（251）；

所述第一光线传输通道（25）与水平面垂直，且所述载物台（3）的台面与水平面平行；

所述第一半透半反射镜（251）与水平面之间的夹角等于所述第一光线传输通道（25）与所述第三光线传输通道（113）之间夹角的一半，使得所述第二输入光源能够经过所述第一半透半反射镜（251）的反射，依次透过所述微分干涉棱镜（27）以及所述显微物镜（28）照射所述待测晶圆（31）。

7.根据权利要求6所述的晶圆检测系统，其特征在于，

所述第二光线传输通道（26）与所述第一光线传输通道（25）的连通位置处设有第二半透半反射镜（252）；

所述第二半透半反射镜（252）与水平面之间的夹角等于所述第一光线传输通道（25）与所述第二光线传输通道（26）之间夹角的一半，使得所述待测晶圆（31）的晶圆反射光线能够经过所述第二半透半反射镜（252）的反射，传输至所述第二光线传输通道（26）中，透过所述第二滤光片（24）进入所述暗场探测器（22）。