[实用新型]一种炉管气路连接组件

说明书

本实用新型公开了一种炉管气路连接组件，包括第一接口，所述第一接口端部连接有第一阀盖，所述第一阀盖端部连接有第一阀体，所述第一阀体端部设有流量控制机构，所述流量控制机构包括移动块，所述移动块上设有封堵头，所述封堵头端部设有第二阀体，所述第二阀体端部连接有第二阀体，所述第二阀体端部连接有第二阀盖，所述第二阀盖端部连接有第二接口；本实用新型结构简单，设计新颖，组件连接气路的同时可直接手动旋转流量控制机构，省时省力。

技术领域

本实用新型涉及炉管气路连接技术领域，具体为一种炉管气路连接组件。

背景技术

生产晶圆片时，需要在炉管进行晶圆片表面热处理时调节炉管内气路的流量，以满足不同客户对晶圆片提出的不同要求，现有的调节阀拆卸与组装都较为困难和复杂，生产效率不高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种炉管气路连接组件，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种炉管气路连接组件，包括第一接口，所述第一接口端部连接有第一阀盖，所述第一阀盖端部连接有第一阀体，所述第一阀体端部设有流量控制机构，所述流量控制机构包括移动块，所述移动块上设有封堵头，所述封堵头端部设有第二阀体，所述第二阀体端部连接有第二阀体，所述第二阀体端部连接有第二阀盖，所述第二阀盖端部连接有第二接口。

优选的，所述第一阀盖两侧设有一组相同的卡扣，所述卡扣的一端伸出第一阀盖的侧壁外，所述卡扣的另一端伸入第一阀体内，所述第一阀体内设有与卡扣相对应的卡槽。

优选的，所述封堵头截面为等腰梯形，所述第二阀体端部的截面与封堵头的截面形状贴合。

优选的，所述移动块端部的外侧设有第一旋转螺纹，所述第一阀体内侧设有与第一旋转螺纹相对应的第二旋转螺纹。

优选的，所述第一阀盖与第二阀盖上均设有防滑纹。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，利用合理的机械结构，巧妙发挥各要素内在潜力，使用气路连接组件组装气路管方便快捷，省时省力，组件连接气路的同时可直接手动旋转流量控制机构，以此进行气路流量的控制，提高了工作效率，满足不同客户对晶圆片加工提出的不同要求。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型中第一阀盖与第一阀体连接示意图；

图3为本实用新型中流量控制机构结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种炉管气路连接组件，包括第一接口1，所述第一接口1端部连接有第一阀盖2，所述第一阀盖2端部连接有第一阀体3，所述第一阀体3端部设有流量控制机构4，所述流量控制机构4包括移动块41，所述移动块41上设有封堵头42，所述封堵头42端部设有第二阀体5，所述第二阀体5端部连接有第二阀盖6，所述第二阀盖6端部连接有第二接口7，所述第一接口1与第二接口7用于连接气路管线。

本实施例中，所述第一阀盖2两侧设有一组相同的卡扣21，所述卡扣21的一端伸出第一阀盖2的侧壁外，所述卡扣21的另一端伸入第一阀体3内，所述第一阀体3内设有与卡扣21相对应的卡槽22，操作人员在组装该连接组件时，只需捏住伸出第一阀盖2的侧壁外的卡扣21端头，将第一阀盖2与第一阀体3相连，即可组装成功。