[实用新型]一种防下沉炉底结构和单晶炉有效
申请号: | 202222250783.1 | 申请日: | 2022-08-25 |
公开(公告)号: | CN218345593U | 公开(公告)日: | 2023-01-20 |
发明(设计)人: | 李鹏飞;许建;王建平;王林 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B27/02 | 分类号: | C30B27/02;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 下沉 结构 单晶炉 | ||
1.一种防下沉炉底结构,包括石墨毡保温层,所述石墨毡保温层上部设有护盘压片,其特征在于:所述石墨毡保温层下部设有固化毡保温层,所述固化毡保温层铺设在单晶炉底,所述护盘压片和石墨毡保温层设置在下保温筒内侧,所述固化毡保温层设置在所述下保温筒底部,用于支撑所述下保温筒。
2.根据权利要求1所述的一种防下沉炉底结构,其特征在于:所述固化毡保温层上部与所述下保温筒底部的接触处设有支撑环。
3.根据权利要求2所述的一种防下沉炉底结构,其特征在于:所述支撑环的宽度大于所述下保温筒的厚度。
4.根据权利要求2所述的一种防下沉炉底结构,其特征在于:所述固化毡保温层上部设有第一凹槽,用于放置所述支撑环。
5.根据权利要求4所述的一种防下沉炉底结构,其特征在于:所述第一凹槽的深度与所述支撑环的高度相同。
6.根据权利要求2-5任一所述的一种防下沉炉底结构,其特征在于:所述支撑环顶部设有第二凹槽,用于放置所述下保温筒。
7.根据权利要求6所述的一种防下沉炉底结构,其特征在于:所述第二凹槽的宽度与所述下保温筒的厚度相同。
8.根据权利要求1所述的一种防下沉炉底结构,其特征在于:所述护盘压片与所述石墨毡保温层的直径相同。
9.根据权利要求1所述的一种防下沉炉底结构,其特征在于:所述石墨毡保温层的高度大于所述固化毡保温层的高度。
10.一种单晶炉,其特征在于:底部设置如权利要求1-9中任一项所述的防下沉炉底结构。
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