[实用新型]一种孔内飞秒激光束偏转装置

权利要求书

1.一种孔内飞秒激光束偏转装置，其特征在于，包括一直径小于孔径的杆体，所述杆体顶部设置有能够伸入孔内的激光光束反射面，所述反射面的激光光束反射线垂直于孔壁；所述杆体安装在联动台上。

2.根据权利要求1所述的孔内飞秒激光束偏转装置，其特征在于，所述联动台包括转动机构，所述转动机构的转动部与所述杆体同轴心线固定连接。

3.根据权利要求2所述的孔内飞秒激光束偏转装置，其特征在于，所述联动台包括平面微滑机构。

4.根据权利要求3所述的孔内飞秒激光束偏转装置，其特征在于，所述联动台包括竖直微滑机构。

5.根据权利要求3所述的孔内飞秒激光束偏转装置，其特征在于，所述平面微滑机构与转动机构通过第一连接器固定连接。

6.根据权利要求5所述的孔内飞秒激光束偏转装置，其特征在于，所述第一连接器为法兰盘。

7.根据权利要求4所述的孔内飞秒激光束偏转装置，其特征在于，所述平面微滑机构与所述竖直微滑机构通过第二连接器连接，所述第二连接器为L型，第二连接器包括相互垂直的第一连接端和第二连接端，平面微滑机构与第一连接端固定连接，竖直微滑机构与第二连接端固定连接。

8.根据权利要求7所述的孔内飞秒激光束偏转装置，其特征在于，所述竖直微滑机构包括固定模块和滑动模块，滑动模块与第二连接端固定连接，固定模块固定连接有第三连接器。

9.根据权利要求2所述的孔内飞秒激光束偏转装置，其特征在于，所述转动机构为盘式微型伺服电机。

10.根据权利要求4所述的孔内飞秒激光束偏转装置，其特征在于，所述平面微滑机构为微调滑台，所述竖直微滑机构为直线滑台。