[实用新型]一种实验用小型电子束炉

权利要求书

1.一种实验用小型电子束炉，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)后端固定连接有真空系统(3)，所述炉体(1)一侧配套设置有电源系统(5)和冷却系统(6)，所述炉体(1)靠近电源系统(5)的一侧固定连接有控制面板(15)；

所述炉体(1)前端面转动连接有炉门(14)，所述炉门(14)和炉体(1)的接触面均固定连接有外密封圈(10)和内密封圈(12)，所述炉体(1)上端位于内密封圈(12)与外密封圈(10)之间的位置开设有开槽(11)，所述炉体(1)内部固定连接有坩埚(8)，所述坩埚(8)上端面固定连接有电子枪(4)，所述炉体(1)一侧外壁固定连接有第一观察窗(7)，所述炉门(14)前端面中部固定连接有第二观察窗(13)。

2.根据权利要求1所述的一种实验用小型电子束炉，其特征在于：所述坩埚(8)通过冷却水管(9)与炉体(1)的底部连接。

3.根据权利要求1所述的一种实验用小型电子束炉，其特征在于：所述电子枪(4)为小于80KW的小功率电子枪(4)。

4.根据权利要求1所述的一种实验用小型电子束炉，其特征在于：所述炉体(1)下端面固定设置有架体(2)。

5.根据权利要求1所述的一种实验用小型电子束炉，其特征在于：所述坩埚(8)设计为圆坩埚(8)。

6.根据权利要求1所述的一种实验用小型电子束炉，其特征在于：所述第一观察窗(7)与第二观察窗(13)均为闪频观察窗，该闪频观察窗内置一个可高速旋转的圆形挡板，在挡板上开有栅格。

7.根据权利要求1所述的一种实验用小型电子束炉，其特征在于：所述炉体(1)两端分别设有炉门(14)和用于连接真空系统(3)的接口。

8.根据权利要求1所述的一种实验用小型电子束炉，其特征在于：所述开槽(11)使用机械泵抽真空，使内密封圈(12)两侧形成不足1Pa的压差。