[实用新型]一种圆晶清洗用卡盘夹具

说明书

本实用新型公开了一种圆晶清洗用卡盘夹具，包括卡盘本体和多个固定设置在所述卡盘本体的外侧边缘上的连接件，各所述连接件的均具有凸出于所述卡盘本体的伸出端，各所述伸出端上均竖直转动连接有卡扣，多个所述卡扣两两相对布置；以两个相对的所述卡扣的连线为中心线，位于所述中心线的两侧各所述伸出端上均设置有向上延伸的定位结构；卡盘本体上还设置有在圆晶匹配定位在卡盘上时吸附圆晶的真空管，所述真空管连接有抽真空设备；还包括控制器，所述控制器同时电连接报警器和所述抽真空设备，所述抽真空设备可检测真空管开口处的真空度。本申请的圆晶清洗用卡盘夹具能够避免作业员放置晶圆不规范且能够使清洗设备能够停机报警。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种圆晶清洗用卡盘夹具。

背景技术

晶圆清洗是半导体分立器件封装中重要的工序之一；工件在切割完成后其表面会残留化学剂、颗粒、金属等杂质，通过清洗设备的喷头(摆动喷淋)与卡盘旋转甩干将晶圆清洁干净；夹具是清洗设备中卡盘的必不可少的部件，其作用是在清洗设备运行过程中在卡盘的旋转下把工件卡紧固定，才能进行工件清洁；

现有技术中的卡盘夹具没有定位结构，在作业员放置工件不规范时，设备不能停机报警，导致卡盘在高速旋转时夹具未能卡紧固定工件造成甩飞现象，导致整片晶圆报废。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种圆晶清洗用卡盘夹具，以解决技术问题：现有技术中的卡盘夹具没有定位结构，在作业员放置工件不规范时，设备不能停机报警，导致卡盘在高速旋转时夹具未能卡紧固定工件造成甩飞现象，导致整片晶圆报废。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种圆晶清洗用卡盘夹具，包括卡盘本体和多个固定设置在所述卡盘本体的外侧边缘上的连接件，各所述连接件的均具有凸出于所述卡盘本体的伸出端，各所述伸出端上均竖直转动连接有卡扣，多个所述卡扣两两相对布置；

以两个相对的所述卡扣的连线为中心线，位于所述中心线的两侧各所述伸出端上均设置有向上延伸的定位结构，圆晶的边缘可卡止在各所述伸出端的两个定位结构之间；

所述卡盘本体上还设置有在圆晶匹配定位在卡盘上时吸附圆晶的真空管，所述真空管的开口设置在两个所述定位结构之间的卡盘上，所述真空管连接有抽真空设备；

还包括控制器，所述控制器同时电连接报警器和所述抽真空设备，所述抽真空设备可检测真空管开口处的真空度。

作为优选方案，所述抽真空设备为真空泵。

作为优选方案，所述报警器包括指示灯和蜂鸣器，所述指示灯和蜂鸣器同时电连接控制器。

作为优选方案，所述连接件为连接板，所述伸出端为连接件的远离卡盘本体的一端；

所述连接板的一端可拆固定在卡盘本体上，所述连接板的远离卡盘本体的一端预留有开口，所述开口内固定设有转轴，所述卡扣转动连接在所述转轴上。

作为优选方案，所述卡扣呈U型布置，所述卡扣的一侧边与所述转轴转动连接。

作为优选方案，所述定位结构为固定设置在所述转轴两端的所述连接板上的挡板，圆晶的边缘卡止在两个定位结构之间的卡盘本体上时，所述卡扣可转动至两个定位结构之间以压紧圆晶。

与现有技术相比，本申请的有益效果：