[实用新型]一种圆晶清洗用卡盘夹具

权利要求书

1.一种圆晶清洗用卡盘夹具，其特征在于，包括卡盘本体和多个固定设置在所述卡盘本体的外侧边缘上的连接件，各所述连接件的均具有凸出于所述卡盘本体的伸出端，各所述伸出端上均竖直转动连接有卡扣，多个所述卡扣两两相对布置；

以两个相对的所述卡扣的连线为中心线，位于所述中心线的两侧各所述伸出端上均设置有向上延伸的定位结构，圆晶的边缘可卡止在各所述伸出端的两个定位结构之间；

所述卡盘本体上还设置有在圆晶匹配定位在卡盘上时吸附圆晶的真空管，所述真空管的开口设置在两个所述定位结构之间的卡盘上，所述真空管连接有抽真空设备；

还包括控制器，所述控制器同时电连接报警器和所述抽真空设备，所述抽真空设备可检测真空管开口处的真空度。

2.根据权利要求1所述的圆晶清洗用卡盘夹具，其特征在于，所述抽真空设备为真空泵。

3.根据权利要求1所述的圆晶清洗用卡盘夹具，其特征在于，所述报警器包括指示灯和蜂鸣器，所述指示灯和蜂鸣器同时电连接控制器。

4.根据权利要求1所述的圆晶清洗用卡盘夹具，其特征在于，所述连接件为连接板，所述伸出端为连接件的远离卡盘本体的一端；

所述连接板的一端可拆固定在卡盘本体上，所述连接板的远离卡盘本体的一端预留有开口，所述开口内固定设有转轴，所述卡扣转动连接在所述转轴上。

5.根据权利要求4所述的圆晶清洗用卡盘夹具，其特征在于，所述卡扣呈U型布置，所述卡扣的一侧边与所述转轴转动连接。

6.根据权利要求4所述的圆晶清洗用卡盘夹具，其特征在于，所述定位结构为固定设置在所述转轴两端的所述连接板上的挡板，圆晶的边缘卡止在两个定位结构之间的卡盘本体上时，所述卡扣可转动至两个定位结构之间以压紧圆晶。