[实用新型]一种集成电路中可靠性分析的测试结构

权利要求书

1.一种集成电路中可靠性分析的测试结构，包括支撑块(1)，其特征在于：所述支撑块(1)的内壁滑动连接有滑板(6)，所述支撑块(1)的上表面固定连接有两个相对称的支撑柱(2)，所述支撑块(1)的上方设置有固定板(3)，两个所述支撑柱(2)的顶端均与固定板(3)的底面固定连接，所述固定板(3)的上表面固定连接有伸缩气泵(4)，所述伸缩气泵(4)的输出轴端固定连接有升降板(5)，所述升降板(5)的内壁固定连接有第一限位杆(14)，所述第一限位杆(14)的外表面滑动有两个相对称的第一滑块(15)，所述第一限位杆(14)的外表面套设有两个相对称的第三伸缩弹簧(16)，所述升降板(5)的下方设置有检测装置本体(9)，所述检测装置本体(9)的上表面固定连接有弹性钢片(17)，两个所述第一滑块(15)均与弹性钢片(17)固定连接，所述检测装置本体(9)上表面的四个边角处均固定连接有滑杆(11)，四个所述滑杆(11)的顶端均贯穿升降板(5)并与升降板(5)滑动连接，每个所述滑杆(11)的外表面均套设有第一伸缩弹簧(12)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述第一限位杆(14)的外表面套设有第二伸缩弹簧(13)，两个所述第一滑块(15)均与第二伸缩弹簧(13)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：每个所述滑杆(11)的顶端均固定连接有限位盘(10)，每个所述限位盘(10)的外表面均做钝化处理。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述支撑块(1)底面的四个边角处均固定连接有支撑腿(7)，每个所述支撑腿(7)的底端均固定连接有支撑垫(8)。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述支撑块(1)的内壁开设有两个相对称的滑槽(18)，每个所述滑槽(18)的内壁均固定连接有第二限位杆(20)。

6.根据权利要求5所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：每个所述第二限位杆(20)的外表面均滑动连接有第二滑块(19)，两个所述第二滑块(19)均与滑板(6)固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：每个所述第二限位杆(20)的外表面均套设有第四伸缩弹簧(21)，两个所述第四伸缩弹簧(21)的顶端分别与两个第二滑块(19)的底面固定连接。