[实用新型]一种晶圆片激光切割装置

权利要求书

1.一种晶圆片激光切割装置，包括有固定架（1）、旋转轴（3）、固定块（4）、丝杆（5）、导向杆（6）、活动架（7）和激光切割头（8），固定架（1）上部一侧转动式连接有旋转轴（3），旋转轴（3）上连接有固定块（4），固定块（4）一侧转动式连接有用于调节位置的丝杆（5），旋转轴（3）上靠近丝杆（5）的一侧上部连接有导向杆（6），导向杆（6）上滑动式连接有活动架（7），活动架（7）与丝杆（5）螺纹式连接，活动架（7）上连接有用于切割晶圆片的激光切割头（8），其特征在于，还包括有电机（2）、DI纯水盆（10）和放置架（12），固定架（1）顶部一侧连接有用于提供动力的电机（2），电机（2）的输出轴与旋转轴（3）连接，固定架（1）下部连接有用于装DI纯水的DI纯水盆（10），DI纯水盆（10）上连接有用于放置晶圆片的放置架（12）。

2.如权利要求1所述的一种晶圆片激光切割装置，其特征在于，还包括有旋转把（9），丝杆（5）一侧连接有旋转把（9）。

3.如权利要求2所述的一种晶圆片激光切割装置，其特征在于，还包括有滤网架（11），DI纯水盆（10）上放置有用于过滤DI纯水和碎屑的滤网架（11）。

4.如权利要求3所述的一种晶圆片激光切割装置，其特征在于，还包括有取物架（13），滤网架（11）上放置有用于取晶圆片的取物架（13）。

5.如权利要求1所述的一种晶圆片激光切割装置，其特征在于，导向杆（6）上设有刻度。

6.如权利要求2所述的一种晶圆片激光切割装置，其特征在于，旋转把（9）的材质为橡胶。