[实用新型]一种无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器

权利要求书

1.一种无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器，其特征在于，沿光路传播方向依次包括红外生成系统、频率转换模组和后补偿系统；

其中，所述红外生成系统用于生成红外基频光，所述红外基频光入射至所述频率转换模组中，所述频率转换模组将所述红外基频光输出为红外光束、绿光光束和椭圆大像散的紫外光束，所述紫外光束输入至所述后补偿系统中，并由所述后补偿系统输出无像散高质量紫外激光。

2.根据权利要求1所述无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器，其特征在于，所述频率转换模组包括沿光路传播方向依次设置的二倍频晶体和/或至少一个N倍频晶体，其中N≥3。

3.根据权利要求2所述无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器，其特征在于，所述频率转换模组最终的输出面为布儒斯特角切割面。

4.根据权利要求1所述无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器，其特征在于，所述后补偿系统包括沿光路依次设置的扩束器和楔形棱镜或者柱透镜。

5.根据权利要求4所述无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器，其特征在于，所述扩束器包括两个以上且共焦的透镜。

6.根据权利要求5所述无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器，其特征在于，所述扩束器包括沿光路依次设置的凹透镜和凸透镜。

7.根据权利要求6所述无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器，其特征在于，所述凹透镜和凸透镜之间的距离可调。

8.根据权利要求4所述无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器，其特征在于，所述楔形棱镜的切角为布儒斯特角。

9.根据权利要求4所述无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器，其特征在于，所述楔形棱镜至少设置有一个。

10.根据权利要求1所述无像散高光束质量输出的长寿命紫外激光器，其特征在于，还包括用于过滤红外光束和绿光光束的光接收组件；

所述光接收组件包括用于过滤红外光束的第一光接收器和用于过滤绿光光束的第二光接收器；

所述第一光接收器位于所述频率转换模组和后补偿系统之间且设置于红外光束的光路上；所述第二光接收器位于所述频率转换模组和后补偿系统之间且设置于绿光光束的光路上。