[实用新型]一种线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置

说明书

本实用新型公开了一种线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，包括坩埚，还包括：坩埚盖，密封盖设于所述坩埚的顶部；喷嘴，穿设于所述坩埚盖上并与坩埚连通，为蒸镀过程中材料从坩埚散发的喷射口；外壳，密封包围设置在坩埚的外部，使得坩埚以及坩埚盖密封设置在外壳内，喷嘴的端部由所述外壳穿出；加热丝，固定安装在所述外壳内部，为线型蒸发源提供热量；冷却板，设置于所述外壳的底部并作为所述外壳的底板，所述冷却板内嵌装有冷却管道；材料吸引块，固定安装在所述冷却板上，材料吸引块与冷却板导热接触并形成高度间温度差，还包括线型蒸发源内反射板，所述线型蒸发源内反射板固定安装在所述外壳内部并与所述加热丝对称分布。

技术领域

本实用新型涉及一种蒸镀装置，具体是一种线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置。

背景技术

在现有线型蒸发源中，放置材料的坩埚及坩埚盖通过螺栓进行连接，加工时坩埚及坩埚盖均会留有一定公差以便安装正常，因此在连接时坩埚及坩埚盖实际会存在很小的缝隙。而在加热过程中材料会被升华到分子或原子大小，易从坩埚与坩埚盖的连接缝隙中泄漏。材料泄漏对昂贵的材料来说是一种不必要的额外消耗，同时导致线型蒸发源内部清洁频率增高，耗费人力物力，急需改善。现有技术通过防材料泄漏硬件来减小材料泄漏量，但难以完全去除；现有技术通过定期维护清洗线型蒸发源内部达到清洁状态。

现有技术的不足：1、材料泄漏一般无法完全根除，硬件不断优化后件依然存在一定材料的泄漏；2、泄漏材料在线型蒸发源中运动并沉积到底部的冷却板上形成材料层，需定期进行较复杂的维护清洗。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，包括坩埚，还包括：

坩埚盖，密封盖设于所述坩埚的顶部；

喷嘴，穿设于所述坩埚盖上并与坩埚连通，为蒸镀过程中材料从坩埚散发的喷射口；

外壳，密封包围设置在坩埚的外部，使得坩埚以及坩埚盖密封设置在外壳内，喷嘴的端部由所述外壳穿出；

加热丝，固定安装在所述外壳内部，为线型蒸发源提供热量；

冷却板，设置于所述外壳的底部并作为所述外壳的底板，所述冷却板内嵌装有冷却管道；

材料吸引块，固定安装在所述冷却板上，材料吸引块与冷却板导热接触并形成高度间温度差。

作为本实用新型进一步的方案：还包括线型蒸发源内反射板，所述线型蒸发源内反射板固定安装在所述外壳内部并与所述加热丝对称分布。

作为本实用新型进一步的方案：所述冷却板使用SUS304材质。

作为本实用新型进一步的方案：所述材料吸引块的数量有两个并对称分布。

作为本实用新型进一步的方案：所述材料吸引块的横截面呈U型。

作为本实用新型进一步的方案：所述材料吸引块与冷却板通过螺纹配合连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述冷却板内部的所述冷却管道集中在所述材料吸引块处。

作为本实用新型进一步的方案：所述材料吸引块高度低于所述坩埚底部且高于所述冷却板10mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用结构简单，使用方便，通过安装材料吸引块，能够更有效的解决在蒸镀过程中泄漏材料分子不断在冷却板上快速沉积的技术问题，缩减了线型蒸发源的维护保养时间，提高了线型蒸发源清洁度，降低了人力、物力、时间成本的投入，节省了维护工序的进行，提高了生产率。