[实用新型]一种线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置有效
| 申请号： | 202222111772.5 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN217839106U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 金政泽;彭冲;尹春来 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 合肥晨创知识产权代理事务所(普通合伙) 34162 | 代理人： | 朱奕波 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 线型 蒸发 吸引 泄漏 材料 沉积 装置 | ||
1.一种线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，包括坩埚，其特征在于：还包括：
坩埚盖，密封盖设于所述坩埚的顶部；
喷嘴，穿设于所述坩埚盖上并与坩埚连通，为蒸镀过程中材料从坩埚散发的喷射口；
外壳，密封包围设置在坩埚的外部，使得坩埚以及坩埚盖密封设置在外壳内，喷嘴的端部由所述外壳穿出；
加热丝，固定安装在所述外壳内部，为线型蒸发源提供热量；
冷却板，设置于所述外壳的底部并作为所述外壳的底板，所述冷却板内嵌装有冷却管道；
材料吸引块，固定安装在所述冷却板上，材料吸引块与冷却板导热接触并形成高度间温度差。
2.根据权利要求1所述的线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，其特征在于：还包括线型蒸发源内反射板，所述线型蒸发源内反射板固定安装在所述外壳内部并与所述加热丝对称分布。
3.根据权利要求1所述的线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，其特征在于：所述冷却板使用SUS304材质。
4.根据权利要求1所述的线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，其特征在于：所述材料吸引块的数量有两个并对称分布。
5.根据权利要求1所述的线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，其特征在于：所述材料吸引块的横截面呈U型。
6.根据权利要求1所述的线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，其特征在于：所述材料吸引块与冷却板通过螺纹配合连接。
7.根据权利要求1所述的线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，其特征在于：所述冷却板内部的所述冷却管道集中在所述材料吸引块处。
8.根据权利要求1所述的线型蒸发源吸引泄漏材料沉积的装置，其特征在于：所述材料吸引块高度低于所述坩埚底部且高于所述冷却板10mm。
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