[实用新型]一种真空传送装置

说明书

本实用新型提供一种真空传送装置，包括第一室和第二室；所述第一室与第二室连通并设有第一口，所述第一口处设有第一阀门；所述第一室与大气端设有第二阀门；所述第一室内部设有传送机构，所述第二室设有旋转架。本实用新型的一种真空传送装置，第一室用于传送待加工物，第二室是真空加工区域。第一室内设置有传送机构，第二室内设有旋转架。传送机构完成产品交替传送工作，将待加工物传送至旋转架上以及将完成物从旋转架上传送出去。第一室与第二室之间只设置一个连接口，可以满足真空镀膜室长期处于真空，不被大气污染，同时可以加快抽真空气速度，提升生产效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空传送装置。

背景技术

现有技术中的真空生产装备通常为单腔体单门或双门设备，产品上下腔体方式多为人手搬运，且腔体每个生产周期，均需要充入大气，才能取出产品，导致设备出现生产周期长，产品质量差等不良现象。此外，人工成本越来越高，招人难，稳定性低。许多企业已经开始大规模实现自动化生产，自动化生产的需求越来越大，对于现有真空镀膜生产装备的新技术越来越迫切。

现有技术中镀膜腔体长期与大气的接触，靶材及腔体表面与大气极易发生反应，从而大大降低了沉积膜层的质量。随着现在工业对真空镀膜生产装备的需求日益增长，以及对真空镀膜生产的产品要求越来越高，膜层的纯度以及精度要求越来越高，现有技术已经不能满足市场的需求。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种真空传送装置。技术方案如下：

一种真空传送装置，包括第一室和第二室；所述第一室与第二室连通并设有第一口，所述第一口处设有第一阀门；所述第一室与大气端设有第二阀门；所述第一室内部设有传送机构，所述第二室设有旋转架；所述第一室传送机构与旋转架配合，通过所述第一口传送待加工物。

进一步地，所述传送机构包括进出料缓存机构和传送机械手；所述进出料缓存机构为坦克链结构，水平方向移动待加工物；所述传送机械手完成待加工物在第一室与第二室之间的交换。

进一步地，所述进出料缓存机构设有上料端和下料端。

与现有技术相比，有益效果是：

本实用新型的一种真空传送装置，第一室用于传送待加工物，第二室是真空加工区域。第一室内设置有传送机构，第二室内设有旋转架。传送机构完成产品交替传送工作，将待加工物传送至旋转架上以及将完成物从旋转架上传送出去。第一室与第二室之间只设置一个连接口，可以满足真空镀膜室长期处于真空，不被大气污染，同时可以加快抽真空气速度，提升生产效率。本实用新型的一种真空传送装置提升了生产效率，减少了人工成本，提高了镀膜产品的膜层质量，具有实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一种真空传送装置的结构示意图。

图中所示：1—第一室，11—传送机构，111—进出料缓存机构，112—传送机械手，2—第二室，21—旋转架，3—第一阀门，4—第二阀门。

具体实施方式

下面结合附图对本公开实施例进行详细描述。