[实用新型]一种真空传送装置有效
| 申请号： | 202222089839.X | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN217757643U | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 朱宇彬;岑东阳;陆晓龙 | 申请（专利权）人： | 广东振华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市专注鱼专利代理有限公司 44456 | 代理人： | 刘玉珠 |
| 地址： | 526020 广东省肇庆市端*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 传送 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空传送装置，其特征在于，包括第一室和第二室；所述第一室与第二室连通并设有第一口，所述第一口处设有第一阀门；所述第一室与大气端设有第二阀门；所述第一室内部设有传送机构，所述第二室设有旋转架；所述第一室传送机构与旋转架配合，通过所述第一口传送待加工物。
2.根据权利要求1所述的真空传送装置，其特征在于，所述传送机构包括进出料缓存机构和传送机械手；所述进出料缓存机构为坦克链结构，水平方向移动待加工物；所述传送机械手完成待加工物在第一室与第二室之间的交换。
3.根据权利要求2所述的真空传送装置，其特征在于，所述进出料缓存机构设有上料端和下料端。
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