[实用新型]一种用于等离子液体纳米抛光的补液装置有效

专利信息
申请号: 202222081163.X 申请日: 2022-08-09
公开(公告)号: CN217728098U 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 刘越盟;于成泽;杨佳颖;田小青;何健;朱志坤;蒋晨宇;刘梦杰;王季 申请(专利权)人: 中唯精密工业有限公司
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;B24B57/02;B24B51/00
代理公司: 北京创赋致远知识产权代理有限公司 11972 代理人: 邱晓宁;胡雅娟
地址: 300300 天津市东丽*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 等离子 液体 纳米 抛光 补液 装置
【权利要求书】:

1.一种用于等离子液体纳米抛光的补液装置,其特征在于,该补液装置包括补液槽(8)、补液管(7)和用于监测抛光液水槽(1)内液面的第一液位传感器(4),补液槽(8)用于存储抛光液,补液管(7)的两端分别与补液槽(8)和抛光液水槽(1)固定连接,补液管(7)连接有驱动件(3),驱动件(3)用于将补液槽(8)内的抛光液输送至抛光液水槽(1),第一液位传感器(4)与抛光液水槽(1)固定连接,第一液位传感器(4)与控制器(10)连接,控制器(10)与驱动件(3)连接。

2.根据权利要求1所述的用于等离子液体纳米抛光的补液装置,其特征在于,所述抛光液水槽(1)设置有防迸溅罩(5),防迸溅罩(5)固定在抛光液水槽(1)的上方。

3.根据权利要求2所述的用于等离子液体纳米抛光的补液装置,其特征在于,所述抛光液水槽(1)固定在补液槽(8)的上方,防迸溅罩(5)的罩设面积大于抛光液水槽(1)的槽口面积,且防迸溅罩(5)的罩设面积小于补液槽(8)的槽口面积。

4.根据权利要求3所述的用于等离子液体纳米抛光的补液装置,其特征在于,所述防迸溅罩(5)包括遮挡板(51)和引流板(52),遮挡板(51)设置在抛光液水槽(1)的上方,遮挡板(51)完全遮挡抛光液水槽(1)的槽口,引流板(52)设置有多个,多个引流板(52)环遮挡板(51)设置,每个引流板(52)均与遮挡板(51)固定连接。

5.根据权利要求1所述的用于等离子液体纳米抛光的补液装置,其特征在于,所述补液槽(8)内设置有第二液位传感器(9),第二液位传感器(9)与补液槽(8)的侧壁固定连接,第二液位传感器(9)与控制器(10)连接。

6.根据权利要求5所述的用于等离子液体纳米抛光的补液装置,其特征在于,所述第二液位传感器(9)靠近补液槽(8)的槽底。

7.根据权利要求1所述的用于等离子液体纳米抛光的补液装置,其特征在于,所述补液槽(8)内设置有盐度检测传感器(20),盐度检测传感器(20)与补液槽(8)的侧壁固定连接,盐度检测传感器(20)与控制器(10)连接。

8.根据权利要求1所述的用于等离子液体纳米抛光的补液装置,其特征在于,所述抛光液水槽(1)的抛光液内浸泡有工件(2),工件(2)连接有电源(6),电源(6)的正极与工件(2)连接,电源(6)的负极与抛光液水槽(1)连接。

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