[实用新型]一种减薄机的气浮主轴

说明书

本实用新型属于气浮主轴设备领域，尤其是一种减薄机的气浮主轴，针对现有的气浮主轴在工作时，会产生热量致使气浮主轴由于热变形而处于不稳定状态，导致容易老化的问题，现提出如下方案，其包括固定在减薄机上的底座，所述底座的顶部四角均设有螺栓孔，所述底座的顶部两侧均固定连接有加固板，包括设置在底座上的机壳，所述机壳内设有用于气浮主轴运转的主轴本体和飞轮，所述主轴本体内设有芯轴，所述主轴本体上设有用于降温的降温机构；还包括设置在底座顶部用于固定机壳的固定机构，所述机壳的一侧分别设有进气管和排水管，所述机壳的一端设有进水管，通过降温机构对主轴本体进行降温，延长使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及气浮主轴设备技术领域，尤其涉及一种减薄机的气浮主轴。

背景技术

减薄机主要用于衬底硅片制备阶段表面加工，以及集成电路封装前对晶圆背面多余的基体材料进行去除。随着IC制造技术的飞速发展，硅片大直径化、超薄化的发展趋势对硅片磨削的加工效率和加工质量提出了更高的要求。气浮主轴是减薄机实现超精密磨削的关键部件，其性能直接影响着磨削。

公告号CN207086924U公开了一种气浮主轴包括主轴机体、上挡盖和内部芯轴，所述主轴机体顶端设有缓冲胶条和上挡盖，且缓冲胶条位于主轴机体和上挡盖之间，所述上挡盖一侧设有内部芯轴，所述内部芯轴一侧设有内置飞盘，所述内置飞盘一侧设有内部通气孔。该技术方案中气浮主轴在工作时，会产生热量致使气浮主轴由于热变形而处于不稳定状态，导致容易老化，所以我们提出一种减薄机的气浮主轴，用于解决上述的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在气浮主轴在工作时，会产生热量致使气浮主轴由于热变形而处于不稳定状态，导致容易老化缺点，而提出的一种减薄机的气浮主轴。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种减薄机的气浮主轴，包括固定在减薄机上的底座，所述底座的顶部四角均设有螺栓孔，所述底座的顶部两侧均固定连接有加固板，

包括设置在底座上的机壳，所述机壳内设有用于气浮主轴运转的主轴本体和飞轮，所述主轴本体内设有芯轴，所述主轴本体上设有用于降温的降温机构；

还包括设置在底座顶部用于固定机壳的固定机构，所述机壳的一侧分别设有进气管和排水管，所述机壳的一端设有进水管，通过降温机构对主轴本体进行降温，延长使用寿命，通过固定机构便于拆卸更换。

优选的，降温机构包括有用于主轴本体降温的降温管，所述主轴本体内设有空腔，所述降温管的一侧与空腔的一侧固定连接，所述降温管的一端与进水管的一端固定连接，所述降温管的另一端与排水管的一端固定连接，冷水从进水管流至降温管内，随后从排水管流出，从而对主轴本体内进行降温，防止温度过高。

优选的，所述固定机构包括有固定板、螺杆、挡板和滑板，所述固定板的底部与底座的顶部固定连接，所述螺杆的一端与滑板的一侧转动连接，所述螺杆与固定板螺纹连接，所述滑板的底部与底座的顶部滑动连接，所述螺杆的另一端固定连接有便于螺杆转动的转动把手，用手转动把手，转动把手的转动带动了螺杆的转动，使螺杆的一端带动滑板进行横向移动，使滑板的一侧离开对机壳的固定，随后换上新的气浮主轴，气浮主轴的机壳先紧贴挡板的一侧，机壳的两侧贴合两个加固板，随后转动转动把手使滑板的一侧紧贴机壳的一端即可，从而便于拆卸更换。

优选的，所述主轴本体上开设有多个圆孔，使进气更加的均匀。

优选的，所述机壳的内壁分别开设有用于空气流通的第一外部通气口和多个第一内部通气口，所述飞轮的内壁开设有第二外部通气口，高压气体通过外部通气口、多个第一内部通气口和第二外部通气口使芯轴进行转动。

优选的，所述底座的顶部开设有两个长型凹槽，两个长型凹槽的底部内壁均滑动连接有滑块，两个滑块顶部均与滑板固定连接，通过长型凹槽和滑块使滑板在移动时减小摩擦力，移动的更加顺畅。