[实用新型]一种高温键合机电压稳定系统有效

专利信息
申请号: 202221983325.2 申请日: 2022-07-29
公开(公告)号: CN218006858U 公开(公告)日: 2022-12-09
发明(设计)人: 延绥斌 申请(专利权)人: 西安基尔程电子科技有限公司
主分类号: H05K7/20 分类号: H05K7/20;H05K5/02;H01L21/67
代理公司: 东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙) 44777 代理人: 耿辉
地址: 710076 陕西省西安市高新区丈*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 高温 机电 稳定 系统
【说明书】:

实用新型提供了一种高温键合机电压稳定系统,包括:本体、风机、电缆接口、第一进风孔、第一螺栓安装孔、外壳、插口、第一螺纹孔、第二进风孔、通孔、分流箱、汇流箱、换热片、第二螺纹孔、管路接头;所述本体后端的底部通过螺栓固定有风机;所述本体后端的顶部镶嵌有电缆接口;所述本体前端的顶部开设有第一进风孔;所述第一进风孔的侧部开设有第一螺栓安装孔;所述本体前端的顶部设有外壳;所述外壳的后端设有插口,且外壳与插口为一体式结构;所述插口插接在第一进风孔的内侧;本实用新型通过对上述结构的改进,具有结构合理,冷风降温,降温效果较好,降温速度较快,方便安装固定的优点,从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。

技术领域

本实用新型涉及高温键合机技术领域,更具体的说,尤其涉及一种高温键合机电压稳定系统。

背景技术

高温键合机既可以处理很小的碎片也可以处理200mm的晶圆,可以支持各种形式的键合,如阳极键合、玻璃焊料键合、共晶、扩散、融合、焊接和粘结键合;也可以支持其他热处理过程如氧化物移除和高温烘烤等。

高温键合机包括温控系统、液压系统、电压稳定系统等。电压稳定系统用于电源稳压,电压若出现不稳定,易导致设备出现故障,影响键合加工。

温度是影响电压稳定的因素之一,因此高温键合机电压稳定系统内会配置散热降温结构。现有高温键合机电压稳定系统中的散热降温结构大多是通过风机来物理降温的,但仅依靠风机来降温,降温的效果较差,降温速度较慢,因此需要对现有散热降温结构进行改进。

有鉴于此,针对现有的问题予以研究改良,提供一种高温键合机电压稳定系统,旨在通过该技术,达到解决问题与提高实用价值性的目的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高温键合机电压稳定系统,以解决上述背景技术中提出的问题和不足。

为实现上述目的,本实用新型由以下具体技术手段所达成:

一种高温键合机电压稳定系统,包括:本体、风机、电缆接口、第一进风孔、第一螺栓安装孔、外壳、插口、第一螺纹孔、第二进风孔、通孔、分流箱、汇流箱、换热片、第二螺纹孔、管路接头;所述本体后端的底部通过螺栓固定有风机;所述本体后端的顶部镶嵌有电缆接口;所述本体前端的顶部开设有第一进风孔;所述第一进风孔的侧部开设有第一螺栓安装孔;所述本体前端的顶部设有外壳;所述外壳的后端设有插口,且外壳与插口为一体式结构;所述插口插接在第一进风孔的内侧;所述插口的侧部开设有与第一螺栓安装孔相配合的第一螺纹孔;所述外壳的前端开设有第二进风孔;所述外壳的底部开设有两处通孔;所述外壳内部的右侧镶嵌有分流箱;所述外壳内部的左侧镶嵌有汇流箱;所述分流箱与汇流箱之间设有换热片;所述换热片的右端与分流箱的左端焊接固定,且换热片与分流箱内部相连通;所述换热片的左端与汇流箱的右端焊接固定,且换热片与汇流箱内部相连通;所述换热片与分流箱的底部均开设有一处第二螺纹孔;两处所述第二螺纹孔分别与两处所述通孔上下一一相对应;每一处所述第二螺纹孔对应设置一处管路接头;所述管路接头的一端活动贯穿在通孔的内侧并螺纹连接在第二螺纹孔的内侧。

作为本技术方案的进一步优化,所述第一进风孔呈方形状,且与第一进风孔相配合的插口呈方框形状,并且第一进风孔与插口通过螺栓固定连接。

作为本技术方案的进一步优化,所述第一螺栓安装孔为沉头孔,且所述沉头孔呈长圆形状。

作为本技术方案的进一步优化,所述外壳呈方盒形状,且设在外壳前端的第二进风孔呈蛛网状。

作为本技术方案的进一步优化,所述分流箱与汇流箱均呈中空的矩形板状,且分流箱与汇流箱呈左右对称。

作为本技术方案的进一步优化,所述换热片呈空心的矩形薄板状,且换热片在分流箱与汇流箱之间设有多处,并且多处所述换热片在竖直方向上等距排列。

作为本技术方案的进一步优化,所述管路接头呈圆管状,且管路接头中间位置的外侧焊接有螺母。

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