[实用新型]一种薄膜沉积设备腔体清洁装置

权利要求书

1.一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，位于待清洁产品(1)的外侧，其特征在于，包括工作台(2)，所述工作台(2)的一侧开设有便于配合连接待清洁产品(1)的配合槽(6)，所述配合槽(6)上设置有吹风机构和抽风机构，所述抽风机构机构包括抽风组和收集组，所述配合槽(6)的外侧设置有便于夹持固定待清洁产品(1)的夹持机构，所述夹持机构包括夹持块(18)、滑杆(20)、固定板(21)、弹簧(22)和拉板(23)，所述夹持块(18)通过滑杆(20)滑动连接于固定板(21)上，所述固定板(21)固定连接于工作台(2)上，所述夹持块(18)与固定板(21)的连接处设置有弹簧(22)，所述滑杆(20)的一端固定连接有拉板(23)，所述夹持块(18)的内侧设置有便于防护的弹性密封垫(19)，所述工作台(2)的底部设置有若干便于支撑的第一支撑柱(24)和第二支撑柱(25)，所述第一支撑柱(24)与第二支撑柱(25)的连接处设置有升降驱动机构，所述第二支撑柱(25)的底部设置有便于移动的万向轮(26)。

2.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置，其特征在于，所述吹风机构包括吹风罩(5)、储气罐(15)和气压泵(17)，所述吹风罩(5)朝向待清洁产品(1)的内部设置，所述吹风罩(5)通过第三管道(14)连通有储气罐(15)，所述储气罐(15)固定安装于工作台(2)上，所述储气罐(15)通过第四管道(16)连通有气压泵(17)，所述气压泵(17)固定安装于工作台(2)上。

3.根据权利要求2所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置，其特征在于，所述抽风组包括吸风罩(4)和抽风机(8)，所述吸风罩(4)固定安装于配合槽(6)上，所述吸风罩(4)朝向待清洁产品(1)的内部设置，所述吸风罩(4)通过第一管道(7)固定连接有抽风机(8)，所述抽风机(8)固定安装于工作台(2)上。

4.根据权利要求3所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置，其特征在于，所述收集组包括收集箱(10)、第一防尘网(11)、第二防尘网(12)和收纳盒(13)，所述抽风机(8)通过第二管道(9)连通有收集箱(10)，所述收集箱(10)固定安装于工作台(2)上，所述第一防尘网(11)固定安装于收集箱(10)的内部，所述收集箱(10)的一侧开设有第二防尘网(12)，所述收集箱(10)的内部滑动连接有收纳盒(13)，所述工作台(2)的外侧铰接有便于隔音的隔音罩(3)。

5.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置，其特征在于，所述升降驱动机构包括连接箱(27)、丝杆(28)、锥齿轮副(29)和双轴电机(30)，所述第一支撑柱(24)固定连接于工作台(2)上，所述第一支撑柱(24)通过滑块滑动连接于第二支撑柱(25)上，所述丝杆(28)转动连接于第二支撑柱(25)的内部，所述第一支撑柱(24)螺纹连接于丝杆(28)上，所述丝杆(28)通过锥齿轮副(29)转动连接有双轴电机(30)的输出轴，所述双轴电机(30)固定安装于连接箱(27)的内部，所述连接箱(27)固定安装于第二支撑柱(25)的连接处。

6.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置，其特征在于，所述工作台(2)的外侧设置有若干个扶手(31)，所述万向轮(26)上设置有刹车件(32)。