[实用新型]高精度模拟测量电路、高精度数字化仪和自动化测试设备

说明书

本实用新型提供了一种高精度模拟测量电路、高精度数字化仪和自动化测试设备，包括：依次连接的信号处理单元、增益放大电路和输出电路；信号处理单元，用于对被测信号进行处理，得到处理后的被测信号；增益放大电路，用于进行测量档位量程的选择，并根据选择的测量档位量程对处理后的被测信号进行放大，得到放大后的被测信号，测量档位量程的数量为多个，且多个测量档位量程中小测量档位量程的精度高；输出电路，用于对放大后的被测信号进行输出测量，得到被测信号的测量值。本实用新型的模拟测量电路中，能够实现对小的被测信号的高精度测量。

技术领域

本实用新型涉及自动化测试设备的技术领域，尤其是涉及一种高精度模拟测量电路、高精度数字化仪和自动化测试设备。

背景技术

自动化测试设备(Automation Test Equipment，ATE)是半导体封装测试的关键装备，数字化仪(Digitizer，DIG)为自动化测试设备中的一个硬件组成部分。

目前，传统的DIG的测量档位为±10V，对应的精度为±(400uV+0.001％Rdg)。上述测量档位的精度较低，在对小的被测信号进行测量时，无法实现高精度测量。

所以，如何实现对小的被测信号的高精度测量成为目前亟需解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种高精度模拟测量电路、高精度数字化仪和自动化测试设备，以缓解现有的DIG的测量电路无法对小的被测信号进行高精度测量的技术问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种高精度模拟测量电路，包括：依次连接的信号处理单元、增益放大电路和输出电路；

所述信号处理单元，用于对被测信号进行处理，得到处理后的被测信号；

所述增益放大电路，用于进行测量档位量程的选择，并根据选择的测量档位量程对所述处理后的被测信号进行放大，得到放大后的被测信号，其中，所述测量档位量程的数量为多个，且多个所述测量档位量程中小测量档位量程的精度高；

所述输出电路，用于对所述放大后的被测信号进行输出测量，得到所述被测信号的测量值。

进一步的，所述信号处理单元包括：依次连接的信号衰减电路和仪表放大器；

所述信号衰减电路，用于衰减大于预设电压的被测信号；

所述仪表放大器，用于差分处理所述信号衰减电路输出的被测信号，得到所述处理后的被测信号。

进一步的，所述增益放大电路包括：反向比例运算放大器、增益放大比例电阻和模拟开关选择比例电阻；

所述反向比例运算放大器的正相输入端接地，所述反向比例运算放大器的反相输入端与所述增益放大比例电阻的一端连接，所述反向比例运算放大器的输出端与所述模拟开关选择比例电阻连接，所述增益放大比例电阻的另一端与所述模拟开关选择比例电阻连接。

进一步的，所述增益放大比例电阻包括：

与所述反向比例运算放大器的反相输入端连接的多个阻值不同的电阻；

所述模拟开关选择比例电阻包括：

与所述多个阻值不同的电阻分别对应连接的多个线路端，以及，

用于联通线路端、所述反向比例运算放大器以及所述输出电路的模拟开关。

进一步的，还包括：可编程基准源；

所述可编程基准源与所述信号处理单元并联后与所述增益放大电路中的反向比例运算放大器的反相输入端连接；