[实用新型]监控系统

说明书

一种监控系统，其特征在于，包含：第一监控模块、控制装置及第一讯号转换模块。第一监控模块电性连接湿度传感器、流量监控器以及流量开关。湿度传感器用以侦测场域的相对湿度。控制装置具有控制单元，控制单元控制流量开关的开启或关闭以决定是否进行充气。第一讯号转换模块用以电性连接控制装置及第一监控模块。

技术领域

本实用新型是关于一种监控系统，特别的是一种可对应不同相对湿度数据提供不同充气速率的监控系统。

背景技术

一般来说光罩(mask)及晶圆片(wafer)等半导体物料多数存放于盒体中保存，且为了避免储存时受到氧化或污染，必须在非氧化性气体之环境中保存。因此，光罩盒及晶圆盒必须储存在非氧化性气体环境中，以及要维持储存环境的相对湿度，方能确保光罩及晶圆片盒体之洁净。

现有存放光罩盒及晶圆盒之方式，是将光罩盒及晶圆盒存放于氮气柜中，再由管路连通至氮气瓶，并定时定量的持续补充氮气。为了确保光罩盒及晶圆盒保存环境之洁净，必须持续定时定量补充氮气于氮气柜中，然而，长期维持储存环境的相对湿度的成本费用较高，将会影响整体运营的收益。

因此，如何提供一种维持储存环境相对湿度的方式，并且能够有效降低成本费用已成为一个重要的课题。

实用新型内容

根据现有技术中所披露的问题，本实用新型的主要目的在于提供了一种监控系统，能够侦测环境的相对湿度数据，由控制单元控制流量开关以决定是否进行充气，藉以达到节省气体使用成本之目的。

根据上述目的，本实用新型提供一种监控系统，其特征在于，包含:第一监控模块、控制装置及第一讯号转换模块。其中，监控模块电性连接湿度传感器、流量监控器及流量开关，湿度传感器用以侦测场域的相对湿度。控制装置具有控制单元，控制单元控制流量开关的开启或关闭以决定是否进行充气。第一讯号转换模块电性连接控制装置及第一监控模块。

附图说明

图1是根据本实用新型所披露的技术，表示监控系统的系统架构图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术特征及优点，能更为相关技术领域人员所了解，并得以实施本实用新型，在此配合所附的图式、具体阐明本实用新型的技术特征与实施方式，并列举较佳实施例进一步说明。以下文中所对照的图式，为表达与本实用新型特征有关的示意，并未亦不需要依据实际情形完整绘制。而关于本案实施方式的说明中涉及本领域技术人员所熟知的技术内容，亦不再加以陈述。