[实用新型]监控系统有效

专利信息
申请号: 202221679066.4 申请日: 2022-07-01
公开(公告)号: CN217718521U 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 王咏勤;林祺浩 申请(专利权)人: 华景电通股份有限公司
主分类号: G05D27/02 分类号: G05D27/02
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 董科
地址: 中国台湾苗*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 监控 系统
【权利要求书】:

1.一种监控系统,其特征在于,包含:

第一监控模块,电性连接湿度传感器、流量监控器及流量开关,所述湿度传感器侦测场域的相对湿度;

控制装置,具有控制单元,所述控制单元控制所述流量开关的开启或关闭以决定是否进行充气;以及

第一讯号转换模块,电性连接所述控制装置及所述第一监控模块。

2.如权利要求1所述的监控系统,其特征在于,包含:

无线射频辨识读取器,电性连接天线组件;以及

第二讯号转换模块,电性连接所述控制装置及所述无线射频辨识读取器。

3.如权利要求1所述的监控系统,其特征在于,所述第一监控模块是I/O电路板或是模拟电路板。

4.如权利要求1所述的监控系统,其特征在于,包含第二监控模块,电性连接所述第一讯号转换模块与含氧量传感器、压力传感器、温度传感器及露点传感器的至少其中一个。

5.如权利要求4所述的监控系统,其特征在于,所述第二监控模块是I/O电路板或是模拟电路板。

6.如权利要求1所述的监控系统,其特征在于,所述第一监控模块电性连接含氧量传感器、压力传感器、温度传感器及露点传感器的至少其中一个。

7.如权利要求1所述的监控系统,其特征在于,所述场域是柜体。

8.如权利要求7所述的监控系统,其特征在于,所述柜体内置放至少一对象,所述对象可以是光罩、光罩盒、晶圆盒、芯片或是晶圆片,且所述对象上设有无线射频辨识标签。

9.如权利要求1所述的监控系统,其特征在于,所述控制装置通讯连接终端装置。

10.如权利要求2所述的监控系统,其特征在于,所述第一讯号转换模块及所述第二讯号转换模块分别是网关或是电路板,用以转换不同的通讯协议。

11.如权利要求2所述的监控系统,其特征在于,所述控制装置包含至少一串行设备服务器,所述第一讯号转换模块或所述第二讯号转换模块电性连接所述串行设备服务器。

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