[实用新型]一种数显坩埚开盖固定环形夹具

说明书

本实用新型涉及一种数显坩埚开盖固定环形夹具，包括固定于工装台上的坩埚固定环形夹，坩埚固定环形夹上方设置坩埚开盖环形夹；所述的坩埚固定环形夹包括环形夹底盘，环形夹底盘上立置有插销，插销上转动铰接有下哈呋环，下哈呋环与环形夹底盘之间设置垫块，下哈呋环的下环面紧贴垫块布置，下哈呋环的对接端设置下锁紧单元，所述的下锁紧单元之间设置下锁紧螺钉，所述的下锁紧螺钉的拧端设置下数显扭力扳手；所述的坩埚开盖环形夹包括与所述的插销平行设置的圆柱销，圆柱销上转动铰接有上哈呋环，上哈呋环的对接端设置上锁紧单元，所述的上锁紧单元之间设置上锁紧螺钉，所述的上锁紧螺钉的拧端设置上数显扭力扳手；坩埚开盖环形夹上设置旋动手柄。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料技术领域，具体涉及一种数显坩埚开盖固定环形夹具。

背景技术

半导体材料生产制备过程中需要用到坩埚在发热筒中高温加热。中国专利《一种坩埚吊装夹具》(申请号：201420596381.X；授权公告号：CN 204151464 U)公开了一种坩埚吊装夹具，这种夹具的夹持对象是开口的坩埚，这种开口的坩埚在半导体材料生产制备工况中是没有运用条件的，具体来说，半导体材料生产制备工况需要保持坩埚内的温藏，即保持坩埚从发热筒中取出也是具有一定高温，因此，这种开口的坩埚在半导体材料生产制备工况中不适用。中国专利《一种起吊坩埚的夹具》(申请号：201320736047.5；授权公告号：CN203583012 U)公开了另外一种坩埚吊装夹具，这种夹具也是适用于开口的坩埚。

进一步的说明，半导体材料生产制备过程中应用到的坩埚是密封的容器，具体来说，是密封的石墨材质容器，即坩埚包括基部和基部上旋紧密封的盖部，坩埚内的下部置入碳化硅磨料材料，坩埚内的上部置入籽晶材料，这种容器质地是较脆的。

现有的通常打开或组装密封坩埚的时候人工直接手动旋拧，但是人工直接手动旋拧会造成力度因为人员力量不同，旋拧的力度随机性和差异性较大，这样会造成工艺不可重复性(即对于新手工艺性较差，对于老手工艺性较好)，甚至会造成坩埚内成型材质(晶体)的损坏。

进一步的说明，如何使坩埚密封封装时对旋紧的力度统一，反之拆卸坩埚的时候为了避免对坩埚内的成型材质(晶体)造成破坏，也需要相应的控制力度(在设定范围内)。

发明内容

为解决背景技术中的问题，本实用新型提出一种数显坩埚开盖固定环形夹具，是一种应对晶体生长前期坩埚装料后锁紧、晶体生长结束后期安全取出的一种夹具，进一步来说，确保了工艺的可重复性。

为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：一种数显坩埚开盖固定环形夹具，包括固定于工装台上的坩埚固定环形夹，坩埚固定环形夹上方设置坩埚开盖环形夹；

所述的坩埚固定环形夹包括环形夹底盘，环形夹底盘上立置有插销，插销上转动铰接有下哈呋环，下哈呋环与环形夹底盘之间设置垫块，下哈呋环的下环面紧贴垫块布置，下哈呋环的对接端设置下锁紧单元，所述的下锁紧单元之间设置下锁紧螺钉，所述的下锁紧螺钉的拧端设置下数显扭力扳手；

所述的坩埚开盖环形夹包括与所述的插销平行设置的圆柱销，圆柱销上转动铰接有上哈呋环，上哈呋环的对接端设置上锁紧单元，所述的上锁紧单元之间设置上锁紧螺钉，所述的上锁紧螺钉的拧端设置上数显扭力扳手；所述的坩埚开盖环形夹上设置旋动手柄。

进一步的，所述的下哈呋环包括插销的左右两侧分别设置的左哈呋环和右哈呋环，所述的下锁紧单元包括左哈呋环上设置的下螺纹锁紧块和右哈呋环上设置的下光孔锁紧块，下锁紧螺钉的螺纹头穿过下光孔锁紧块螺纹连接于下螺纹锁紧块上。

再进一步的，左哈呋环、右哈呋环的内侧均设置有下止动垫。

再进一步的，环形夹底盘上位于下螺纹锁紧块、下光孔锁紧块之间立置有限位插销。

再进一步的，所述的插销上位于下哈呋环与环形夹底盘之间设置垫圈，所述的垫圈厚度与垫块一致，所述的下止动垫为橡胶垫。