[实用新型]一种数显坩埚开盖固定环形夹具有效

专利信息
申请号: 202221589479.3 申请日: 2022-06-23
公开(公告)号: CN217966658U 公开(公告)日: 2022-12-06
发明(设计)人: 冯玉冰;马宁;吴明森;郑红贤;刘林 申请(专利权)人: 合肥露笑半导体材料有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00
代理公司: 上海恩凡知识产权代理有限公司 31459 代理人: 汪贺玲
地址: 230000 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 种数 坩埚 固定 环形 夹具
【权利要求书】:

1.一种数显坩埚开盖固定环形夹具,其特征在于:包括固定于工装台上的坩埚固定环形夹(10),坩埚固定环形夹(10)上方设置坩埚开盖环形夹(20);

所述的坩埚固定环形夹(10)包括环形夹底盘(11),环形夹底盘(11)上立置有插销(19),插销(19)上转动铰接有下哈呋环,下哈呋环与环形夹底盘(11)之间设置垫块(16),下哈呋环的下环面紧贴垫块(16)布置,下哈呋环的对接端设置下锁紧单元,所述的下锁紧单元之间设置下锁紧螺钉(14),所述的下锁紧螺钉(14)的拧端设置下数显扭力扳手(102);

所述的坩埚开盖环形夹(20)包括与所述的插销(19)平行设置的圆柱销(29),圆柱销(29)上转动铰接有上哈呋环,上哈呋环的对接端设置上锁紧单元,所述的上锁紧单元之间设置上锁紧螺钉(24),所述的上锁紧螺钉(24)的拧端设置上数显扭力扳手(202);所述的坩埚开盖环形夹(20)上设置旋动手柄(21)。

2.根据权利要求1所述的一种数显坩埚开盖固定环形夹具,其特征在于:所述的下哈呋环包括插销(19)的左右两侧分别设置的左哈呋环(101)和右哈呋环(100),所述的下锁紧单元包括左哈呋环(101)上设置的下螺纹锁紧块(13)和右哈呋环(100)上设置的下光孔锁紧块(12),下锁紧螺钉(14)的螺纹头穿过下光孔锁紧块(12)螺纹连接于下螺纹锁紧块(13)上。

3.根据权利要求2所述的一种数显坩埚开盖固定环形夹具,其特征在于:左哈呋环(101)、右哈呋环(100)的内侧均设置有下止动垫(15)。

4.根据权利要求3所述的一种数显坩埚开盖固定环形夹具,其特征在于:环形夹底盘(11)上位于下螺纹锁紧块(13)、下光孔锁紧块(12)之间立置有限位插销(17)。

5.根据权利要求3所述的一种数显坩埚开盖固定环形夹具,其特征在于:所述的插销(19)上位于下哈呋环与环形夹底盘(11)之间设置垫圈(18),所述的垫圈(18)厚度与垫块(16)一致,所述的下止动垫(15)为橡胶垫。

6.根据权利要求1所述的一种数显坩埚开盖固定环形夹具,其特征在于:所述的圆柱销(29)的左右两侧设置第一、第二铰链(27、28),下哈呋环由第一、第二铰链(27、28)分置为左右两部分,所述的下锁紧单元包括上光孔锁紧块(22)、上螺纹锁紧块(23),上锁紧螺钉(24)的螺纹头穿过上光孔锁紧块(22)螺纹连接于上螺纹锁紧块(23)上。

7.根据权利要求6所述的一种数显坩埚开盖固定环形夹具,其特征在于:所述的上光孔锁紧块(22)、上螺纹锁紧块(23)的外侧平行设置有旋动手柄(21),两旋动手柄(21)与下哈呋环位于同一平面。

8.根据权利要求7所述的一种数显坩埚开盖固定环形夹具,其特征在于:下哈呋环的内侧设置上止动垫(25),所述的上止动垫(25)为橡胶垫。

9.根据权利要求7所述的一种数显坩埚开盖固定环形夹具,其特征在于:位于圆柱销(29)的外侧设置辅助手柄(26),所述的辅助手柄(26)与所述的旋动手柄(21)平行。

10.根据权利要求1所述的一种数显坩埚开盖固定环形夹具,其特征在于:所述的坩埚固定环形夹(10)与所述的坩埚开盖环形夹(20)之间立置有连接支撑杆,所述的连接支撑杆为伸缩杆;所述的坩埚固定环形夹(10)与所述的坩埚开盖环形夹(20)平行,所述的连接支撑杆垂直环形夹底盘(11)。

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